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Oxford Instruments anuncia la mejora final Señalando capacidad de Herramientas grabado de plasma y deposición

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

Oxford Instruments Tecnología de plasma (OIPT) se complace en anunciar la mejora final que apunta hacia la capacidad de su gama de herramientas de grabado de plasma y la deposición, con la introducción del sistema de espectrómetro CCD1. El CCD1 es capaz de proporcionar tanto una capacidad de proceso de endpointing y UV / VIS captura del espectro, y está disponible como una opción estándar en todas las nuevas herramientas o como opción de actualización para los actuales clientes de Oxford Instruments.

Este espectrómetro proporciona una ruta económica para endpointing de propósito general y la espectroscopia, sin comprometer la resolución ni la fuerza de la señal.

El CCD1 es un espectrómetro UV / VIS CCD que puede controlar una amplia gama de emisiones de plasma en longitudes de onda 200 nm-880 nm. Esta unidad se puede utilizar en una de dos maneras: a través de proceso de detección de punto final PC2000 OIPT ™ de software, o la visualización de espectro completo y la grabación. Esto proporciona al usuario información detallada espectroscopia de plasma, que puede ser usado para monitorear las concentraciones de las especies en el plasma. Los espectros también pueden ser comparados con los anteriores datos espectrales - para el monitoreo del sistema, detección y clasificación de fallas potenciales.

Ahora está disponible como una opción de sistema de herramientas OIPT nuevo grabado y deposición, el espectrómetro de CCD1 también pueden ser ofrecidos como una actualización de los sistemas en el campo, dependiendo de la edad del sistema, el tipo y configuración.

Last Update: 4. October 2011 18:25

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