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ऑक्सफोर्ड उपकरण अंत ओर इशारा करते हुए प्लाज्मा नक़्क़ाशी और बयान उपकरण पर क्षमता बेहतर घोषणा

ऑक्सफोर्ड उपकरण प्लाज्मा प्रौद्योगिकी (OIPT) प्लाज्मा खोदना और बयान उपकरणों की अपनी सीमा पर CCD1 स्पेक्ट्रोमीटर प्रणाली की शुरूआत के साथ बेहतर अंत की ओर इशारा करते क्षमता की घोषणा की कृपा है . CCD1 दोनों एक प्रक्रिया endpointing की क्षमता, और यूवी / विज़ स्पेक्ट्रम पर कब्जा प्रदान करने में सक्षम है, और सभी नए उपकरणों पर एक मानक विकल्प के रूप में या मौजूदा ऑक्सफोर्ड उपकरण ग्राहकों के लिए एक उन्नयन के विकल्प के रूप में उपलब्ध है.

इस स्पेक्ट्रोमीटर संकल्प या सिग्नल की शक्ति पर समझौता किए बिना एक लागत प्रभावी सामान्य प्रयोजन endpointing और स्पेक्ट्रोस्कोपी के लिए मार्ग प्रदान करता है.

CCD1 / यूवी तुलना सीसीडी स्पेक्ट्रोमीटर है कि 200nm 880nm तरंगदैर्य पर एक प्लाज्मा उत्सर्जन की एक विस्तृत श्रृंखला की निगरानी कर सकते हैं. इस इकाई के दो तरीकों में से एक में इस्तेमाल किया जा सकता है: OIPT PC2000 ™ सॉफ्टवेयर, या पूर्ण स्पेक्ट्रम देखने और रिकॉर्डिंग प्रक्रिया के माध्यम से पता लगाने endpoint. यह विस्तृत प्लाज्मा स्पेक्ट्रोस्कोपी जानकारी है, जो प्लाज्मा के भीतर प्रजातियों की सांद्रता की निगरानी के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है के साथ उपयोगकर्ता प्रदान करता है. स्पेक्ट्रा पिछले वर्णक्रमीय डेटा के लिए भी की तुलना में किया जा सकता है - प्रणाली, निगरानी गलती का पता लगाने और संभावित गलती वर्गीकरण के लिए.

अब नए OIPT खोदना और बयान उपकरणों पर एक प्रणाली के विकल्प के रूप में उपलब्ध है, CCD1 स्पेक्ट्रोमीटर भी क्षेत्र में सिस्टम के लिए एक उन्नयन प्रणाली उम्र, प्रकार, और विन्यास पर निर्भर के रूप में की पेशकश की जा सकता है.

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