牛津儀器宣布改進的最終指向等離子體刻蝕和沉積工具的能力

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

牛津儀器等離子技術(OIPT)高興地宣布,其等離子體刻蝕和沉積工具的範圍CCD1光譜儀系統的引入,改善最終指向能力。 CCD1是能夠提供一個過程 endpointing能力,紫外/可見光譜採集的,而且是一個對所有新的工具標準的選擇或可作為現有的牛津儀器客戶的升級選項。

該光譜儀提供了一個通用endpointing和光譜的成本效益的途徑,沒有決議或信號強度的前提。

CCD1是一個紫外/可見光 CCD光譜儀,可以監視血漿排放超過 200nm的波長 - 880nm的範圍廣泛。本機可以使用兩種方式之一:通過 OIPT的PC2000™軟件,全方位觀看和錄製的過程中端點檢測。這提供了詳細的等離子光譜信息的用戶,可用於監測物種的濃度,血漿內。光譜也比以前的光譜數據 - 用於系統監控,故障檢測和潛在的故障分類。

現在作為一個新OIPT蝕刻和沉積工具的系統選項,也可提供CCD1光譜儀作為在該領域的升級系統,依賴於系統的年齡,類型和配置。

Last Update: 22. October 2011 00:51

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