Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanofabrication

TSMC- och MAPPERLithography Meddelar att det Nya Genombrottet som Uppnås av Pre-Alfabetisken MAPPEREN Bearbetar

Published on February 19, 2010 at 5:54 AM

Fabriks- Företag för Taiwan Halvledare (TWSE: 2330 NYSE: TSM) och MAPPERLithography avslöjde i dag att enalfabetisk MAPPER bearbetar lokaliserat på TSMCS Fab 12 som GigaFab™ skrivar upprepade gånger ut för strömimmersion för särdrag föregående unachievable användande teknologi för lithography.

Över förflutnan har TSMC för flera månader utvidgat dess Maskless Lithographylag och har varit funktionsduglig med MAPPEREN iscensätter på Fab 12 för att integrera elektronen strålar riktar skriver kapaciteter in i fabriks- bearbetar för utveckling av framtida teknologiknutpunkter.

”Söker TSMC alltid för mest kostar - effektivt fabriks- bearbetar,” något att sägaDr. Shang-Yi Chiang, TSMC-Vice verkställande direktör av Forskning & Utveckling. ”Projekterar har resultaten som är kommande från vårt, med MAPPEREN mött aggressiva mål och markerar en viktig prestation i vårt Multipel-E-Strålar Riktar Skriver programet som täcker allt livsdugligt Multipel-E-Strålar teknologier. Baserat på dessa uppmuntranresultat, övertygas vi att Multipeln E-Strålar teknologi är en av teknologierna som blir den standarda framtida lithographyen.”,

Dr. Christopher Hegarty, MAPPER'SENS VD tillfogar, ”Ha TSMC, som vår barkasskund är av store gynnar till MAPPEREN. , att Nu vi har ett fungerande att bearbeta på TSMC och vi intensifierar samtidigt våra försök i att komma med MAPPER'SENS teknologi för att marknadsföra, är vi högst säkra som elektronen strålar riktar skriver ska introduceras lyckat in i fabriks- kick-volym bearbetar.”,

TSMC och MAPPER ska gåva deras senaste resultat på den Avancerade Lithographykonferensen 2010 för SPIE i San Jose, CA.

MAPPERS Teknologi

MAPPEREN framkallar lithography bearbetar med maskin för gå i flisorbranschen. Dessa bearbetar med maskin använder ett nytt, och innovativ teknologi, som gå i flisor med av framtiden, kan göras kostar effektivt. MAPPER'SEN bearbetar med maskin ger ett högt kosta-effektivt långt av danande som nästa generation av gå i flisor, därför att den förminskar markant kostar, genom att avlägsna photomaskstunderna som ger samtidigt det ultimat i upplösnings- och kickproduktivitet. MAPPER'SENS teknologi gör bruk av kraftigt parallell elektron strålar och därmed att ge den very kickupplösningen av elektronen strålar på extremt kickgenomgång. Strömlithography bearbetar med maskin fotografiska tekniker för bruk för att skapa minimalt elektriskt går runt mindre än 1/100. av ett människahår på ett silikonrån. De använder en maskera som innehåller ritningen av gå i flisor och överför denna mönstrar på till ett photosensitive lagrar (som är jämförbart till fotografera som en är utsatt filma på,), however de använda fotografiska teknikerna är mycket inskränkt i upplösningen, kan är de ge och ej längre adekvat för framtida utvecklingar av halvledare.

Källa: http://www.tsmc.com/

Last Update: 25. January 2012 19:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit