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EV 단은 Lurie Nanofabrication 시설에 2개의 웨이퍼 접합 시스템을 발송합니다

Published on March 2, 2010 at 7:17 AM

Lurie Nanofabrication 시설 (www.mnf.umich.edu/MNF) - 미시간 대학에 2개의 웨이퍼 접합 시스템을 발송했다는 것을 EV 단 (EVG), MEMS 의 나노 과학과 반도체 시장을 위한 웨이퍼 접합과 석판인쇄술 장비의 주요한 공급자는 (LNF), 오늘 알렸습니다 MEMS를 위한 주요한 센터 및 microsystems는 및 국립 과학 재단에 의해 지원되는 국제적인 나노 과학 기반 (NNIN) 통신망 (www.nnin.org)의 완전한 일원 연구합니다.

웨이퍼 bonder 및 동기기가 시설에 이미 설치된 상태에서, 이 새로운 시스템은 높 군대 웨이퍼 접합 기능을 제공해서 대학의 전반적인 MEMS 연구 노력의 수준을 증가시킬 것입니다. 이 명령은 강한 MEMS 연구를 가진 다른 중요한 대학을 가진 장기 관계를 위한 회사가 에 의하여 더 자세를 취하고는 초점 및 대학 연구 및 개발 경기장에 있는 EVG의 전반적인 존재를 확장하는 때 EVG를 위한 전략적인 승리를 표시합니다.

그들의 반복성, 신뢰도 및 기술지원 통신망을 선정해, 접합 시스템 - EVG 520IS와 EVG510 Q1를 위해 올해에 표적으로 한 완료를 가진 고객 사이트에 -는 임명을 치루고 있습니다. 웨이퍼 bonders는 생물 의학 환경과 같은 필드에 있는 MEMS 관련된 연구의 넓 범위를 위해, 및 광전자공학 사용될 것입니다. 두 시스템 다 예를 들면 금속 에 금속 접합을 가능하게 하고 특히 3배 더미 양극 접합을 허용할 유일한 높 군대 접합 기능을, 제안합니다. 시스템 제안이 연구 기관의 프로세스 기능을 확장할 군대에 있는 융통성, 뿐 아니라 접합 양식 (예를들면, 열압축 증발기는 양극, 공융, 중합체, 및 지시합니다).

"NNIN의 일원으로, 우리는 항상 가장 진보된 기술적인 프로세스 기능을 찾고 있습니다--뿐만 아니라 Lurie Nanofabrication 시설의 우리의 자신의 연구 노력을 위해, 또한 그밖 연구 단체를 위하여 MEMS 기술 진행에 할당했습니다," 미시간 대학의 교수와 디렉터를 말했습니다 Ken Wise. "다수 웨이퍼 접합 시스템의 따르는 철저한 평가, 우리는 그들의 우량한 기술 기능을 EVG의 접합 해결책을 선정했습니다. EVG의 민주당원의 조합은, 강한 지지 통신망 유래하고 그들의 시스템의 능력은 중대했습니다 전부 우리의 결정에."

주의된 EV 단 북아메리카의 Steven Dwyer, 부사장 및 총관리인은, "Lurie Nanofabrication 시설 미시간 대학 별 대학 연구 단체이고 우리의 시스템이 경쟁에 선정된 우리는 오싹됩니다. LNF는 우리의 우리의 해결책 뿐 아니라 우리의 고객 지원 팀의 병력에 성약인 기술지원 기능에 있는 최대 신뢰를 설명했습니다, 와 기술. 우리는 LNF를 가진 장기 협조적인 공동체정신에 기대합니다."

Last Update: 13. January 2012 06:28

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