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옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술은 워털루 대학에서 멀티 시스템 주문 수상

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 (OIPT) , 식각, 증착 및 성장을위한 시스템의 선두 주자인 최근 새로운 청정실 시설의 설치에 대한 워털루, 온타리오, 캐나다의 대학에서 멀티 시스템 주문을 받고 있습니다. 도구 주문 과정 OIPT의 System100 ICP + System133 PECVD, 그리고 다중 웨이퍼 일괄 능력과 공정 응용 프로그램의 번호를 제공하는 잠재력을 지닌 FlexAL PECVD / ALD 클러스터 도구입니다.

OIPT 도구는 어플 리케이션의 광범위한 사용, 강력한 혼자 서서 clusterable 처리 모듈을 제공하며, 워털루 대학교는 여러 프로세스 기술에 대한 시스템을 구현하는 것입니다. 이러한 포함 보쉬, Cryo 실리콘 에칭, 화합물 반도체, 에칭 금속, PECVD. 또한, 도구 중 하나는 Al2O3 등각 코팅을 입금하는 ALD 공정 능력을 제공하기 위해 클러스터 것입니다.

OIPT의 System100 ICP 도구

장비는 마이크와 오펠 Lazaridis 양자 - 나노 센터, 워터루 대학 캠퍼스의 심장부에 현재 건설중인 새로운 최첨단 건물의 청정실에서 지내게 될 것입니다. 2011 년 완성 예정 시설, 양자 컴퓨팅 연구소와 나노기술의 워털루 연구소간에 공유됩니다.

장비의 구입은 관대한 지원 IQC에 의해 가능하게 것은 혁신, 온타리오 연구 기금, 워터루 대학에 대한 캐나다 재단, 새로운 건물, 마이크와 오펠 Lazaridis의 namesakes에서받습니다.

옥스포드 인스 트루먼 트의 책임이 개발 및 과학 기술을 통해 세계의 깊은 이해를 추구하고, 다른 새로운 대학 연​​구 시설이 명령은 그 약속을 선언 과도 같은 것입니다

Last Update: 9. October 2011 04:35

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