Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

De Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford Ontvangt de Orde van het Multisysteem van Universiteit van Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

De Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford (OIPT), leider in systemen voor etst, deposito en de groei, heeft onlangs een multisysteemorde van de Universiteit van Waterloo, Ontario, Canada voor installatie in hun nieuwe cleanroom faciliteit ontvangen. De bevolen proceshulpmiddelen zijn System100 van OIPT ICP + System133 PECVD, en een hulpmiddel van de Cluster van FlexAL PECVD/ALD, met het vermogen van de multi-wafeltjepartij en het potentieel voor het verstrekken van een aantal procestoepassingen.

De hulpmiddelen OIPT bieden krachtige alleen tribune en clusterable procesmodules aan, toelatend een brede waaier van toepassingen, en de Universiteit van Waterloo zal de systemen voor veelvoudige procestechnieken uitvoeren. Deze omvatten Bosch, etst het silicium Cryo, etst de Halfgeleider van de Samenstelling, Metaal, PECVD. Bovendien zich zal één van de hulpmiddelen groeperen om ALD procesvermogen aan te bieden, om Al2O3 conforme deklaag te deponeren.

ICP System100 van OIPT Hulpmiddel

De apparatuur zal in cleanroom op het Mike en quantum-Nano Centrum van Ophelia Lazaridis, de nieuwe overzicht bouw nu in aanbouw centraal bij de Universiteit van Waterloo campus worden gehuisvest. De faciliteit, slated voor voltooiing in 2011, zal tussen het Instituut voor Quantum Gegevensverwerking en het Waterloo Instituut van Nanotechnologie worden gedeeld.

De aankoop van apparatuur wordt gemaakt mogelijk door de grootmoedige steun IQC ontvangt van de Stichting van Canada voor Innovatie, het Fonds van het Onderzoek van Ontario, de Universiteit van Waterloo, en de naamgenoten van het nieuwe gebouw, Mike en Ophelia Lazaridis.

De Instrumenten van Oxford streeft verantwoordelijke ontwikkeling en dieper begrip van de wereld door wetenschap en technologie na, en deze orde voor een andere nieuwe Universitaire onderzoekfaciliteit is testament aan die verplichting

Last Update: 12. January 2012 22:39

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit