Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Технология Плазмы Аппаратур Оксфорда Получает Заказ Multi-Системы от Университета Ватерлоо

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Технология Плазмы Аппаратур Оксфорда (OIPT), руководитель в системах для etch, низложение и рост, недавно получили заказ multi-системы от Университета Ватерлоо, Онтарио, Канады для установки в их новое средство чистой комнаты. Отростчатые приказанные инструменты System100 OIPT ICP + System133 PECVD, и инструмент Группы FlexAL PECVD/ALD, с возможностью серии multi-вафли и потенциалом для обеспечивать несколько отростчатых применений.

Инструменты OIPT предлагают мощную стойку одну и clusterable отростчатые модули, включающ широкий диапазон применений, и Университет Ватерлоо будут снабжать системы для множественных отростчатых методов. Эти включают etch кремний Bosch, Cryo, etch Сложного Полупроводника, Металла, PECVD. В добавлении, один из инструментов будет связано для того чтобы предложить производительность технологического процесса ALD, депозировать конформное покрытие Al2O3.

Инструмент System100 ICP OIPT

Оборудование будет расквартировано в чистой комнате на Майк и Центре Ophelia Lazaridis Квант-Nano, новый современный строить теперь под конструкцией в основе Университета кампуса Ватерлоо. Средство, slated для завершения в 2011, будет поделено между Институтом для Вычислять Кванта и Институтом Ватерлоо Нанотехнологии.

Покупка оборудования делана возможным великодушной поддержкой IQC получает от Учредительства Канады для Рационализаторства, Фонда Исследования Онтарио, Университета Ватерлоо, и тёзок нового здания, Майк и Ophelia Lazaridis.

Аппаратуры Оксфорда следуют ответственное развитие и более глубокое вникание мира через науку и технику, и этот заказ для другого нового средства исследования Университета завет к тому принятию окончательного решения

Last Update: 12. January 2012 23:43

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit