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牛津仪器等离子体技术接收来自滑铁卢大学的多系统订单

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

牛津仪器等离子技术(OIPT) ,蚀刻,沉积和生长系统的领导者,最近收到了来自大学,加拿大安大略省的滑铁卢,为他们在新的洁净室设施的安装多系统的订单。工具有序的过程OIPT的System100 ICP + System133 PECVD反应,和一个FlexAL的PECVD / ALD集群工具与多晶圆批量能力和提供过程应用的潜力,。

OIPT工具提供了强大的独立和集群过程模块,实现了广泛的应用,滑铁卢大学将实施多种工艺技术的系统。这些措施包括博世,低温硅蚀刻,化合物半导体,金属蚀刻,PECVD。此外,将群集的工具之一提供ALD工艺能力,存款氧化铝形涂层。

OIPT的System100 ICP工具

该设备将被安置在洁净室在麦克和奥菲莉亚拉扎里迪斯量子纳米中心,一个新的国家的最先进的建设,目前正在建设中的滑铁卢校园大学的心脏。设施,将于2011年完成,将量子计算研究所和滑铁卢的纳米技术研究所之间共享。

购买设备是由慷慨支持IQC可能收到来自加拿大,安大略省Waterloo大学的研究基金,创新基金,和新的建设,迈克和奥菲莉亚拉扎里迪斯同名。

牛津仪器奉行负责任的发展,并通过世界科学技术的进一步了解,这另一个新大学的研究设施秩序是这一承诺的证明

Last Update: 25. October 2011 12:51

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