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Tegal यूरोपीय संघ के आधार MEMS निर्माता से अतिरिक्त आदेश प्राप्त

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal निगम (Nasdaq: TGAL) उन्नत MEMS, बिजली आईसीएस और optoelectronic उपकरणों के निर्माण के लिए विशेष उत्पादन के समाधान के एक प्रर्वतक, आज की घोषणा की है यह एक अग्रणी यूरोपीय संघ से एक अतिरिक्त Tegal 4200 एसई ™ DRIE क्लस्टर उपकरण प्रक्रिया मॉड्यूल के लिए एक आदेश प्राप्त हुआ है आधारित MEMS और पावर आईसी उपकरणों के आपूर्तिकर्ता है.

Tegal 4200 एसई DRIE प्रक्रिया मॉड्यूल और भेज दिया जाएगा अगले वित्तीय तिमाही में ग्राहक की साइट पर स्थापित है, और ग्राहक MEMS और पावर आईसी उपकरणों की उच्च मात्रा विनिर्माण के लिए समग्र उत्पादन क्षमता के लिए जोड़ देगा.

Tegal 4200 एसई क्लस्टर उपकरण सिलिकॉन यह दोहराना Tegal DRIE ग्राहक से DRIE प्रक्रिया मॉड्यूल आदेश सफल स्थापना, प्रक्रिया योग्यता, और ग्राहक पहले Tegal 4200 एसई क्लस्टर उपकरण PM पर सिलिकॉन दीप प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के निरंतर उपयोग निम्नानुसार है.

", हमारे ग्राहकों MEMS और पावर आईसी के बाजारों में उनके प्रौद्योगिकीय नेतृत्व के लिए जाना जाता है, और हम Tegal सिलिकॉन DRIE उपकरण उच्च मात्रा विनिर्माण में बेहतर प्रदर्शन की पुष्टि के रूप में यह दोहराने के आदेश देखते" Yannick Pilloux, DRIE Tegal निगम के उत्पाद प्रबंधक ने कहा. "हम मानते हैं कि हमारे DRIE प्रक्रिया मॉड्यूल सबसे अधिक विश्वसनीय और बाजार पर सबसे उन्नत कर रहे हैं और के रूप में यह दोहराने के आदेश से पता चलता है, हम हमारे ग्राहक सिलिकॉन DRIE क्लस्टर उपकरणों के लिए मांग की तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा करने में सक्षम किया गया है, जबकि रास्ते उत्कृष्ट मूल्य प्रदान ".

Tegal 4200 एसई ™ एक उन्नत, क्लस्टर विश्व स्तरीय उपकरण दीप प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए समर्पित प्रणाली है. सुपर उच्च पहलू अनुपात प्रक्रिया, उत्पादन वातावरण में सुविधा पहलू etched अनुपात 100:1> को प्राप्त करने के एक उपपादन द्वारा मिलकर प्लाज्मा नक़्क़ाशी रिएक्टर और चुंबकीय प्लाज्मा कारावास, उपकरण है Tegal पेटेंट SHARP चला सकते हैं. Tegal 4200 क्लस्टर उपकरण के साथ विन्यस्त किया जा सकता है है MEMS और अर्धचालक युक्ति छलरचना में सबसे अक्सर इस्तेमाल किया सामग्री के लिए उच्च मात्रा विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए 4 प्रक्रिया मॉड्यूल, और 2 कैसेट मॉड्यूल: (सी) सिलिकॉन, सिलिकॉन विसंवाहक (SOI), और सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2)

Tegal सिलिकॉन DRIE उपकरण वर्तमान में दुनिया भर में कई अनुसंधान और विकास प्रयोगशालाएं में कार्यरत, दोनों वाणिज्यिक और शैक्षिक अनुसंधान कार्यक्रमों में आकर्षक है, और भी MEMS ढलाई और अन्य समर्पित वाणिज्यिक उच्च मात्रा दुनिया व्यापक विनिर्माण लाइनों में पाया.

स्रोत: http://www.tegal.com/

Last Update: 9. October 2011 04:19

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