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Tegal는 유로퓸 기지를 둔 MEMS 제조자에서 추가 명령을 수신합니다

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (NASDAQ: TGAL는) 향상된 MEMS 의 힘 IC와 광전자 공학 장치의 제작을 위한 전문화한 생산 해결책의 혁신자, 오늘 알렸습니다 MEMS와 힘 IC 장치의 지도 유로퓸 기지를 둔 공급자에게서 추가 Tegal 4200 SE™ DRIE 다발 공구 프로세스 모듈을 위한 명령을 수신했다는 것을.

Tegal 4200 SE DRIE 프로세스 모듈은 다음 회계 분기에 있는 고객 사이트에, MEMS와 힘 IC 장치의 높은 볼륨 제조를 위한 고객의 전반적인 생산 능력에 추가할 것입니다 발송되고 설치되고.

반복 Tegal 이 DRIE 고객에게서 Tegal 4200 SE 다발 공구 실리콘 DRIE 프로세스 모듈 명령은 실리콘 고객의 첫번째 Tegal 4200 SE 다발 공구 PM에 깊은 민감하는 이온 식각 프로세스의 성공적인 임명, 가공 자격 및 지탱한 사용을 따릅니다.

"우리의 고객 MEMS와 힘 IC 시장에 있는 그들의 과학 기술 지도력으로 알려져 있고, 높은 볼륨 제조에 있는 Tegal 실리콘 DRIE 공구의 우량한 성과의 확인,"는 우리는 이 반복 명령 Yannick Pilloux를 말했습니다, Tegal Corporation에 DRIE 생산 매니저를 봅니다. "우리는 우수한 가치를 길을 따라 제공하고 있는 동안." 이 반복 명령이 보여주기 때문에 우리의 DRIE 프로세스 모듈이 시장에 믿을 수 있다고 그리고 가장 진보되다고 및, 우리는 실리콘 DRIE 다발 계속 공구를 위한 우리의 고객의 요구 기술 필요 조건을 만족시킬 수 있다는 것을 믿습니다,

Tegal는 4200 SE™ 깊은 민감하는 이온 식각 응용에 전념한 향상된, 세계적인 다발 공구 시스템입니다. 유도적으로 결합한 플라스마 식각 반응기 및 자석 플라스마 금고를 특색지어서, 공구는 Tegal의 특허가 주어진 날가로운 것 - >100의 식각한 특징 종횡비를 달성하는 최고 높은 종횡비 프로세스를 달릴 수 있습니다: 생산 환경에서 1. MEMS와 반도체 소자 제작에 있는 가장 빈번하게 이용한 물자를 위한 Tegal 4200 다발 공구는 4개까지 가공 모듈 및 2개의 카세트 모듈, 왜냐하면 높은 볼륨 제조 응용으로 구성될 수 있습니다: 실리콘 (Si), 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 이산화 실리콘 (SiO2)

Tegal 실리콘 DRIE 공구는 수많은 연구와 개발 실험실에서 곧 있어, 세계적으로 채택되고, 또한 세계 MEMS 주조와 그밖 전용 상업적인 높은 볼륨 제조 선에서 상업기도 하고 학문적인 연구 프로그램에서 관여시키.

근원: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 08:09

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