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Tegal 从基于 EU 的 MEMS 制造商收到另外的订单

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (那斯达克: TGAL) 专门化的生产解决方法的创新者生产的先进的 MEMS、功率集成电路和光电子设备,今天宣布它从 MEMS 和功率集成电路设备的一个导致的基于 EU 的供应商收到了一个另外的 Tegal 4200 SE™ DRIE 字符串工具进程模块的一份订单。

Tegal 4200 SE DRIE 进程模块在客户地点将被发运并且被安装在下个财政季度和添加到 MEMS 和功率集成电路设备大容积制造的客户的整体生产能力。

从此重复 Tegal DRIE 客户的 Tegal 4200 SE 字符串工具硅 DRIE 进程模块等级按照对在客户的第一个 Tegal 4200 SE 字符串工具 PM 的硅深刻的易反应的离子铭刻进程的成功的安装、处理鉴定和持续的使用。

“我们的客户为他们的技术领导在 MEMS 和功率集成电路市场上被认识,并且我们看到此重复顺序, Tegal 硅 DRIE 工具的优越性能的确认在大容积制造中”,扬妮克 Pilloux 说, DRIE Tegal 的 Corporation 产品管理器。 “我们相信我们的 DRIE 进程模块是最可靠和最先进的在这个市场上,因为此重复顺序显示,我们能符合我们的硅 DRIE 字符串工具的客户的需求的技术需要,当提供非常好的值时”。

Tegal 4200 个 SE™是一个先进,国际水平的字符串工具系统投入深刻的易反应的离子铭刻应用。 以引人地耦合的等离子铭刻反应器和磁性等离子分娩为特色,工具可能运行 Tegal 的给予专利的锐利 - 超级高长宽比进程,达到 >100 被铭刻的功能长宽比:1 在生产环境里。 Tegal 4200 字符串工具可以配置以 4 个处理模块和 2 个卡式磁带模块,为了大容积制造应用为在 MEMS 和半导体设备制造的频繁地使用的材料: 硅 (Si)、绝缘体上硅薄膜 (SOI)和二氧化硅 (SiO2)

Tegal 硅 DRIE 工具在许多研究与开发实验室在 MEMS 的铸造厂和全世界其他专用的商业大容积制造的线路在世界各地目前被使用,参与商业和学术研究方案和也被找到。

来源: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 00:07

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