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Tegal, zum 200 von Hilfsmittel SES DRIE an MEMS-Forschungs-Institution in Asia Pacific Zu Liefern

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) ein Pionier von fachkundigen Produktionslösungen für die Fälschung hoch entwickelten MEMS, Leistung IS und optoelektronische Einheiten, kündigte heute an, dass es eine Ordnung für ein Hilfsmittel Tegal 200 SE™ DRIE von einer führenden Pazifisch-Basierten Forschung und Entwicklung Asiens Institution empfangen hat, die MEMS und dazugehörige Technologien nachforscht.

Das Tegal 200 Hilfsmittel SES DRIE ist an der Kundenseite später dieses Kalenderjahr versendet und eingebaut.

Tegal 200 Prozess-Hilfsmittel SE-Silikon-DRIE

Die Tegal 200 Anlagenordnung SE-Silikons DRIE ist von einem erstmaligen Abnehmer Tegal DRIE und ist das Ergebnis einer gründlichen wettbewerbsfähigen Bewertung, die der Abnehmer an einer breiten Reichweite der Hilfsmittel des Silikons DRIE und der Hilfsmittellieferanten durchführte, einschließlich wettbewerbsfähige Lösungen vom Binnenmarkt des Abnehmers.

„Unser Abnehmer kennt den Pfad zur technologischen Führung in MEMS-Forschung und Entwicklung Anfängen mit dem Wählen des rechten Hilfsmittels des Silikons DRIE für die Arbeit,“ sagte Yannick Pilloux, DRIE-Produkt-Manager an Tegal Corporation. „Wir glauben, dass unsere DRIE 200 SE-Anlage und unsere tiefen Silikonätzungsprozesse das zuverlässigste sind und höchstentwickelt auf dem Markt heute und, kombiniert mit der ausgezeichneten lokalen Halterung, die von Tegal erhältlich ist, Tegal ergab, das über unseren Konkurrenten gewählt wurde, einschließlich den Hausmarkt Wettbewerb.“

Das Tegal 200 SE™ ist die beste angepasste DRIE-Lösung für 3D-SiP und MEMS-Volumen, die heute herstellen. Das Hilfsmittel wird konstruiert, um hohen Durchsatz mit niedrigen Kosten des Besitzes in den Produktionsanwendungen, in den dank die Kombination der erweiterten Zeit zwischen Reinigung, im minimalen Waferrandausschluß, in den hohen Silikonätzungskinetik, in der ausgezeichneten Prozessstabilität und in der in hohem Grade einheitlichen Radierung zu erzielen. Die 200 SE-Ergebnisse sind erreichte dank die Implementierung durch Tegal einer großen Auswahl der eigenen Kleinteile und Verbesserungen der Fertigungsprozesse zum Standard-Bosch-Prozess für tiefe Silikonätzung; diese Verbesserungen umfassen die Tegal patentierte geheizte Zwischenlage und der patentierte Prozess S.H.A.R.P. (Super Hoher Längenverhältnis-Prozess).

Hilfsmittel Tegal-Silikons DRIE werden momentan in zahlreichen Forschung und Entwicklung Labors weltweit eingesetzt und ziehen in den Handels- und akademischen Forschungsprogrammen an, und werden auch in weltweiten MEMS-Gießereien und in anderen engagierten HandelsGroßserienHerstellungszeilen gefunden.

Quelle: Volumen

Last Update: 12. January 2012 01:40

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