SP3 다이아몬드 Technologies는 최신 핫 필라멘트 CVD 다이아몬드 원자로를 소개합니다

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

SP3 다이아몬드 테크놀로지 주식 회사 (SP3) , 다이아몬드 제품, 장비 및 서비스의 선도적인 공급 업체는 오늘 자사의 최신 핫 필라멘트 화학 기상 증착 (CVD) 다이아몬드 반응기, 모델 665을 발표했다.

새로운 듀얼 챔버 시스템은 회사의 단일 챔버 모델을 통해 증착 영역에서 100 % 증가를 대표 한 번에 열여덟 100mm - 직경 기판까지 수용할 수 있습니다. 모델 665은 크게 회사의 단일 챔버 반응기로 동일한 CVD 다이아몬드 필름 특성, 증착 속도와 처리 균일을 제공하면서 시스템 처리량을 두 배로하여 소유 비용 (COO)를 감소시킵니다.

대량 생산 효율, 낮은 COO 플랫폼에 대한 고객의 수요가 높은 처리량 시스템의 개발을 몰고. 전체 빠르게 상용화쪽으로 이동 주요 시장은 화학 기계적 평탄화 (CMP) 패드 컨디셔너 및 수처리를위한 다이아몬드 코팅 전극을 포함합니다. 모델 665는 반도체 웨이퍼에 다이아몬드 interlayers의 사용을 타겟팅하는 더 높은 볼륨 증착 장비의 개발을위한 플랫폼이 될 것입니다.

"CVD 다이아몬드 필름은 전체 상용화로 이동하고있다"Dwain Aidala, SP3 다이아몬드 Technologies의 사장 겸 COO는 말했다. 다이아몬드의 고유의 장점 몇 가지 성장 분야의 볼륨 생산에 R & D 및 파일럿 생산 단계에서 이동, 잘 인식되고있다 "고 규모 및 처리량 지금은 중요합니다. 여러 고객이 CVD 다이아몬드를 통합하는 제품의 제조를 올렸으로 높은 생산성 증착 플랫폼을 제공하는 능력은 시장에서 독특한 제공입니다. "

CVD 다이아몬드는 마모 특성, 화학 자동 력이 없음과 마모 특성의 범위에 의한 CMP 패드 컨디셔너에 이상적인 재료입니다. CMP를 사용 CMP, 금속화 레이어의 증가와 광택이되는 자료의 번호를 사용하여 공정 단계의 숫자 측면에서 반도체 제조 점점 더 강도를 높여 가고있다. 이러한 요소 slurries 및 패드 질감의 증가 복잡 미세한 라인 폭과 호환성을 제공 CVD 다이아몬드 기반 시설에 대한 요구 사항을 운전하고 있습니다.

CVD 다이아몬드의 채택으로 급속한 성장을 본 또 다른 시장은 물 처리를위한 다이아몬드 코팅 전극입니다. 점점,이 전극은 다이아몬드의 화학 자동 력이 없음과 선택 도핑된 수있는 능력은 긴 수명, 높은 신뢰성 시스템을 사용 공업 용수 처리 시설과 여과 시스템에서 구현되고있다.

모델 665에 대하여

뛰어난 다이아몬드 두께 균일성, 높은 처리량, 뛰어난 프로세스 repeatability, 정확한 공정 제어 및 저렴한 비용으로 작업 : 모델 665의 새로운 듀얼 챔버 구성을 포함 SP3의 현재, 검증된 원자로 같은 기능과 혜택을 제공합니다. 모델 665 처리량을 배로 동안 모델 650 시스템보다 40 % 이상 비용을 크게 COO를 감소.

모델 665의 두 가지 증착 챔버 스는 항상 프로세스 컨트롤러 및 관련 전자 제품, 가스 분배 시스템과 압력 동시에 다이아몬드 증착에 대한 두 개의 챔버를 제공하는 (진공) 제어 시스템과 같은 프로세스를 실행합니다. 가스 및 진공 배관 정확하게 각각의 챔버에 증착 프로세스의 정확한 복제를 허용, 압력과 실 사이의 가스 흐름을 균형 있도록 설계되었습니다. 새로운 듀얼 챔버 시스템은 작은 펌프 다운 / 스텝 시간 수정을 진정으로 기존의 증착 조리법을 사용합니다.

듀얼 챔버 구성 운영 두 방으로가로드 및 언로 드 증착 대신 단일 챔버 및 사용자 인터페이스가 두 회의소가 표시되는 경우를 제외하고 모델 650 시리즈의 동일합니다. 가스 제어, 압력 제어, 프로세스 요리법 생성 및 운영 등 - - 프로세스 컨트롤 모두 동일로 기능을 로깅 안전 기능 및 데이터입니다.

SP3 다이아몬드 Technologies는 산업의 광범위한 스펙트럼에 걸쳐, 전 세계 기업에 CVD 증착 반응기 및 전자 온도 관리를위한 다이아몬드 - 기반 솔루션 및 향상된 절단 표면을 제공합니다. 웨이퍼 스케일 다이아몬드 대 기판 제품 및 나노 및 microcrystalline 다이아몬드 형태를 활용 서비스를 제공함으로써, SP3은 다결정 CVD 다이아몬드의 상업 범위를 확대합니다.

Last Update: 13. October 2011 16:49

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