Posted in | Nanoanalysis

Integration av Magma CAD-baserad analys-teknik med tillämpad Advanced Inspection Systems

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

Applied Materials, Inc. och Magma Design Automation, Inc. meddelade idag att de har integrerat Magma CAD (computer-aided design)-baserat navigationssystem och avkastning analysprogram med tillämpad avancerade inspektionssystem.

Denna unika kombination av verktyg för design och tillverkning har accelererat litografi kompetens och förbättrad avkastning chip till flera kunder för utveckling och produktion av avancerade tekniknoder.

"Introduktionen av CAD-baserad inspektion teknik för fel analys och uppföljning på GlobalFoundries Fab 1 har bidragit till att förbättra effektiviteten defekt förvaltning och minska cykeltiden för processoptimering", säger Remo Kirsch, chef för kontaminering Gratis Tillverkning vid GlobalFoundries Fab 1 i Dresden, Tyskland . "Både vår produktion och linjer utveckling nu förlita sig på denna teknik för att hjälpa kvalitetsgaranti processen och ger stabilitet."

Eftersom enhetens funktioner krympa, att uppnå en acceptabel avkastning blir alltmer utmanande. Komplexa interaktioner mellan process villkor och design producerar "hot spots" - områden där tryckt mönster avviker från syftet med designen - som måste tas bort innan ett chip kan gå i produktion. Integrering av design och data i realtid inspektion ger kunderna ett innovativt sätt för att identifiera hot spots i en produktionsmiljö och förbättra sin process produkt är godkänd. Dessutom villkor som tillverkar hot spots kan matas tillbaka till designprocessen - att förbättra efterföljande mönster. Detta är en kritisk fördel i dagens snabbt föränderliga, hög mix verksamhet chip tillverkning.

"Som produktutveckling cykler blir kortare och kortare, har spelet förändrats från avkastningen maximering ge ramp", säger Ronen Benzion, vice president och general manager för tillämpad Process Diagnostik och kontroll av Business Unit. "Vårt banbrytande arbete med Magma kommer att hjälpa våra kunder snabbt sina nya produkter på marknaden och minska tiden till intäkter."

"Utan förmågan att övervinna Litho kvalifikationer vägspärrar snabbt kommer 22nm konstruktioner vara mycket tidskrävande och dyrt att ta med till volymproduktion", säger Ankush Oberai, general manager och vice vd för Magma är Fab Analys affärsenhet. "Genom att kombinera Magma CAD-baserad analys teknik med tillämpad avancerade defekt inspektion och granskning, kan vi komprimera designen cykler och påskynda inlärning för framtida produkt generationer."

Källa: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 4. October 2011 21:13

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit