Por Cameron Chai
AIXTRON recentemente recebeu uma ordem do Instituto Nacional de Ciência Industrial Avançada e Tecnologia (AIST) do Japão para um sistema automatizado Magia Negra 300 milímetros para ser usado para a deposição de grafeno. As propriedades de grafeno torná-lo adequado para a microeletrônica e aplicações de alta freqüência.
O pedido foi feito no primeiro trimestre de 2011, ea entrega terá lugar no terceiro trimestre de 2011 para a instalação no quarto Super AIST Limpo em Tsukuba. Será operacionalizado pela equipe AIXTRON local. O sistema cumpridas rigorosas exigências estipuladas pelo Síntese e Aplicação de Transferência de grafeno na Collaborative Research Team Green nanoelectrónica Center (GNC). Ele vai ajudar a desenvolver e aplicação de materiais nanocarbon.
Segundo o Dr. Ken Teo, diretor de Nanoinstruments em AIXTRON, o sistema exibe a temperatura uniforme e um sistema de entrega de gás, que oferece um precursor preciso. Ela inclui o ARGUS in-situ sistema de mapeamento térmico. Um manipulador automatizado e multi-wafer loadlock são incorporados para a entrega de alto throughput.
GNC está sendo apoiada pelo Programa de Financiamento para Líder Mundial inovadoras de P & D em Ciência e Tecnologia (FIRST), que promove a pesquisa e desenvolvimento para orientar presença global do Japão no bem-estar social.
Fonte: http://www.aixtron.com