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发展纳米碳材料石墨系统

Published on April 18, 2011 at 8:13 AM

由Cameron湾仔

AIXTRON在日本国家先进工业科学和技术研究所(AIST)最近收到一个自动化的300mm石墨沉积的黑色魔法系统的订单。石墨烯的性能使其适合微电子技术和高频应用。

在2011年第一季度,​​订单的交付将在2011年第三季度在筑波AIST的超级洁净室安装。这将是由当地AIXTRON的团队运作。严格要求,遵守制度规定的协作研究组绿色纳米电子学中心(GNC)的合成及石墨转让申请。这将有助于纳米碳材料的开发和应用。

据肯张志贤,博士在AIXTRON的Nanoinstruments主管,系统会显示均匀的温度和气体输送系统,提供一个准确的先行者。它包括阿格斯原位热测绘系统。一个自动化的处理程序和多晶圆loadlock纳入提供高吞吐量。

GNC是被支持的资助计划,由世界领先的创新研发科学和技术(第一)计划,促进研究和开发,带领日本的全球社会福利存在。

来源: http://www.aixtron.com

Last Update: 9. October 2011 17:40

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