Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanoenergy

Cambridge nanotech Supplies 40:e Fiji Plasma ALD System

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Av Cameron Chai

Cambridge nanotech har förklarat utbudet av sitt 40-Fiji Plasma Atomic Layer Deposition (ALD) system. ALD används i tekniker såsom belysning och display, energilagring, och mikroelektronik.

Cambridge nanotech siktar till att förbättra ALD industrialisering och forskning. Under 2009 tillverkade företaget Fiji för att ge enastående flexibilitet och enkel användning i experimentella processer. Plasma ALD verktyg är apt för vetenskapsmän och forskare verksamma inom produktion ultratunna beläggningar som är digitalt kontrollerad, pin-hole fri, tät och mycket exakt.

Företagets plasma ALD systemet är lämpligt för bearbetning flera nitrider, oxider, metaller som platina, titannitrid, och andra material. Framställda plasma recept ger minskat avsevärt temperaturer för platina nedfall och mindre resistivitet titannitrid.

Enligt Laurent Francis, Microsystems ordförande vid UCL, i syfte att bedriva forskning vid Université Catholique de Louvain (UCL) de sökte för high-k konforma tunna filmer deponeras vid rumstemperatur. Cambridge nanotech hade kommit fram med ett välutvecklat verktyg som möjliggör ett stort utbud av materialval för att förbättra forskningen. Cambridge nanotech utförda stöd för att installera Fiji F200 verktyg och ALD teknik vid UCL.

Det Fiji ALD systemet gör det möjligt för forskare att deponera material med varierande förhållanden som höga och låga temperaturer, föreslog Jill S. Becker, VD och grundare av Cambridge nanoteknik. Systemet ger några extra funktioner som ett kluster modul för automatisering integration, en hög temperatur-modul för att testa prover på upp till 800 ° C, och ett rån plus modul för storskalig prover, tillade han.

Källa: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 9. October 2011 23:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit