Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanoelectronics

EV הקבוצה חושפת מערכת Bonding ראשון ופלים 450mm SOI באמצעות מצעים

Published on July 11, 2011 at 10:14 AM

EV הקבוצה (EVG) , ספקית מובילה של מליטה רקיק ציוד ליטוגרפיה עבור השווקים, MEMS ננוטכנולוגיה מוליכים למחצה, חשפה מערכת מליטה הראשון בתעשיית המוליכים למחצה עבור 450 מ"מ בקוטר ופלים מיוצרים סיליקון על מבודד (SOI) מצעים .

בונים על ההנהגה של EVG ב מליטה רקיק SOI, המערכת החדשה - המכונה מ"מ EVG850SOI/450 - נוצר כדי לתמוך ולהקל את המעבר בתעשייה 450 מ"מ ופלים מן הסטנדרט 300 מ"מ הנוכחי. ספקית מובילה SOI רקיק Soitec יתקין, בדיקה להעפיל מערכת EVG850SOI/450-mm הראשון המטה שלה גרנובל, צרפת. משלוח צפוי לסתיו 2011.

במשך יותר מ 40 שנים, חוק מור כבר הנהג העיקרי עבור חדשנות בתעשיית המוליכים למחצה. היתרונות של עלות מופחתת לכל טרנזיסטור, ביצועים טובים יותר פונקציונליות מוגברת לאפשר תקציבים טרנזיסטור מוגבר עיצובים חדשניים. בגלל עלות IC לסנטימטר מרובע (cost/cm2) כ מכפיל בכל עשור, עם זאת, תעשיית עבר המעבר חופפות בגודל רקיק כל שמונה עד 10 שנים - תוך המשך בהיקף גדלים תכונה - כדי להישאר על המסלול של מור חוק. SOI צפוי לשחק תפקיד המאפשר במעבר ל 450 מ"מ, כפי שהוא לא רק תשובות רוב האתגרים קנה מידה, אבל זה גם מספק כוח / ביצועים טוב עבור תת 22 ננומטר CMOS וטכנולוגיות 3D לעומת נפח דומה, הגיאומטריה ה-CMOS.

מליטה ופלה היא טכניקה חיונית בודה ופלים SOI, שכן הוא מאפשר השגת איכות גבוהה, יחיד קריסטל סרטים סיליקון על שכבה אחת כדי ליצור בידוד SOI מצעים. מליטה חדש EVG850SOI/450-mm מערכת רקיק ממנף את החוזק של EVG בטכנולוגיה מליטה רקיק ליצור כלי אוטומטי לחלוטין עבור ייצור הפקה ברמה של ופלים SOI. יתר על כן, כי chipmakers תצטרך פתרון ביניים כדי לייעל את התפוקה עבור קיבולת 300 מ"מ הקיימים כמו הגירה ל 450 מ"מ ההכנסות בשנים הקרובות, המערכת יכולה לשמש ככלי גשר, המאפשר עיבוד של שני גדלים רקיק.

"כל רקיק מלוכדות 300 מ"מ SOI כמעט 100 אחוז מכלל ופלים SOI מיוצרים על מערכות EVG. העברנו המערכת הראשונה שלנו SOI מליטה בשנת 1994, בסיס הגלובלי שלנו מותקן ממשיך לגדול עם אימוץ התרחב של SOI מצעים", ציין EV קבוצת הפועל טכנולוגיה מנהל פול לינדנר. "אחד הדברים החשובים ביותר SOI ייצור תהליכים המבוססים על מליטה רקיק הוא CutTM חכם שכבת העברת טכנולוגיה מן Soitec, עם מי יש EV הקבוצה מערכת יחסים ארוכת שנים שיתופי. Soitec הוא הנמען האידיאלי של EVG first 450 מ"מ מליטה SOI מערכת רקיק, והערכה שלהם כלי אלפא יהיה רב ערך עבור אופטימיזציה של מודולים במערכת ".

מ"מ EVG850SOI/450 מורכבת משני מודולים התהליך: מודול ניקוי לניקוי טרום מיזוג של פרוסות לפני מליטה רקיק, ואת מודול מראש מליטה SOI. במודול מראש מליטה, שתי פרוסות סיליקון הם חברו יחד או בחלל ריק או באולם אטמוספרי. הכלי מצויד המדינה-of-the-art 450 מ"מ יציאות לטעון לפני פתיחת תרמילי מאוחדת (FOUPs). רוב החלקיקים לבין יון המתכת בדיקות זיהום יבוצעו על 300 מ"מ ופלים בשל היעדר של 450 מ"מ מערכות מטרולוגיה. הכלי הראשון בארסנל של EVG 450 מ"מ, בונדר החדש ישמש כנקודת המוצא המפתח לייצור של 450 מ"מ ופלים SOI, והוא יכול להיות מנוצל עבור פיתוח של קבוצת EV השני 450 מ"מ מוצרים, כגון aligners המסכה מערכות ציפוי. הרחבה של המערכת עם מודולים נוספים מתוכנן צעד נוסף כדי להגדיל את התפוקה רקיק.

ציין סמנכ"ל התפעול פול Boudre עבור Soitec, "Soitec מוכן עמדה במעבר 450 מ"מ. עם ההשקה של מערכת חדשה זו, EV הקבוצה מציעה תעשיית המוליכים למחצה פתרון בר קיימא מאוד כדי להקל את המעבר ל 450 מ"מ ופלים . מבוססת היטב עם חומר SOI שלנו משחקת תפקיד יותר ויותר גדול בודה הדור הבא של שבבים, אנו מצפים לעבוד עם EVG כדי להבטיח את המערכת החדשה היא מוכנה להיכנס המרכזית לייצור מבעוד מועד ".

במהלך SEMICON המערבית השבוע בסן פרנסיסקו, EV הקבוצה יצטרכו נציגי שלה צוות SOI ו מליטה רקיק מומחים זמינים מהתא # 1131 לדבר עם אנליסטים לחץ הלקוחות מעוניין ללמוד יותר על מערכת EVG850SOI/450-mm חדש שלה יכולות גישור המאפשר 300 מ"מ ל 450 מ"מ המעבר רקיק. בנוסף, פול EVG של לינדנר יהיה חלק בפורום של MCA BrightSpots על 450 מ"מ שייערך הערב בשעה 06:00 (PST) - שם הוא אגע בכמה המאמצים כעת תחת הדרך, שניהם ביחד וכל אחד לחוד, כדי לשפר את 300 מ"מ יעילות הייצור, וכן לאפשר מעבר של התעשייה על 450 מ"מ ופלים. אירוע זה פתוח לתקשורת והוא נגיש באינטרנט, המאפשר למשתתפים הזדמנות ייחודית כדי לקבל תובנה רבה יותר לתוך האתגרים וההזדמנויות הקשורות 450 מ"מ, ו לשאול שאלות ישירות חלק מהמומחים המובילים בתחום.

Last Update: 6. October 2011 16:50

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit