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Posted in | Microscopy

布魯克推出晶圓測量尺寸邊 PSS的原子力顯微鏡

Published on August 17, 2011 at 2:53 AM

由Cameron灣仔

布魯克的分子和材料研究的科學解決方案和工具的供應商,已推出了尺寸邊緣 PSS原子力顯微鏡(AFM)為圖案的藍寶石襯底(PSS)的測量,以生產高亮度發光二極管(HB - LED) 。

AutoMET軟件和9晶圓夾頭尺寸邊緣 PSS

尺寸邊緣的PSS是一家集生產環境,一個易於使用的原子力顯微鏡專門設計提供分辨率比傳統的光學技術,以及提供了準確的三維輪廓數據處理複雜的PSS過程。系統進行了自動化報告生成,數據分析,信息收集和測量 2至6“晶圓生產計量中的應用。此外,它提高了LED R&D所需的原子力顯微鏡功能

該系統可與布魯克的AutoMET軟件特別設計,以滿足高亮度LED生產商的製造要求的包結合。這是可能的軟件配置,使每個晶圓的幾個點,一到九片晶圓的測量。這也在很大程度上提高了生產產量,通過實現自動化的數據分析和報告生成,提供測量數據的工程師和技術員運營商一個失敗 /通過指標。

馬克河蒙克,布魯克納米表面部的主席表示,高亮度LED製造商正在尋求 PSS的技術,以提高關鍵生產工序和PSS的原子力顯微鏡的尺寸邊緣有助於監測這些增強的過程。他補充說,該系統的無與倫比的分辨率,精度和測量速度提供快速的過程,反饋。

大衛五羅西,布魯克的原子力顯微鏡業務的副總裁和通用汽車公司表示,推出尺寸邊緣 PSS,該公司繼續來說明它的奉獻精神,以提高製造業和研究員環境的原子力顯微鏡的性能和應用程序。

來源: http://www.bruker-axs.com/

Last Update: 9. October 2011 04:02

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