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Groupe d'EV Pour Réaliser des Niveaux Plus Élevés d'Efficience de Fabrication par le Lancement du système des GÉMEAUX FB

Published on September 7, 2011 at 9:31 PM

Le Groupe d'EV (EVG), un principal fournisseur de matériel de métallisation et de lithographie de disque pour le MEMS, nanotechnologie et marchés de semi-conducteur, ont aujourd'hui annoncé qu'il lance un modèle neuf de navire amiral dans sa famille rodée en clientèle de métallisation de disque de fusion des GÉMEAUX FB qui augmente le débit de système à jusqu'à 20 disques par heure.

La mise à jour comprend des capacités améliorées d'automatisation pour permettre à des abonnées de réaliser des niveaux plus élevés d'efficience de fabrication pour de telles applications que le postérieur a illuminé les Capteurs d'image cmos (BSI), l'intégration 3D des Capteurs d'image cmos, et l'intégration 3D monolithique des blocs de mémoires.

Le système des GÉMEAUX FB d'EVG est conçu pour la charge intégrée et robotisée de disque, le cadrage, la métallisation et le déchargement des disques métallisés jusqu'à 300 millimètres de diamètre. La compagnie enregistre qu'elle a déjà reçu des commandes des constructeurs d'appareils intégrés importants pour la plate-forme mise à jour, avec des accouchements slated pour la fin de cette année civile.

Selon Paul Lindner, directeur exécutif de technologie pour EVG, « Nous continuons à voir la demande parmi nos abonnées pour des rendements et un débit plus élevés afin de maximiser leur retour sur l'investissement. À EVG, notre visibilité est d'être la première en explorant des techniques neuves pour réaliser ces gains--nous permettant d'adresser les applications de la deuxième génération qui influencent le micro et les technologies de nanofabrication. En tant qu'élément de cette visibilité, nous nous concentrons soutenu sur innover nos lignes de produits avec des améliorations telles que cette dernière extension à notre plate-forme des GÉMEAUX FB de navire amiral--le premier système rodé en clientèle de métallisation de disque de fusion de 300 millimètres de l'industrie facilement disponible. »

Ces dernières améliorations pour amplifier le débit de la plate-forme des GÉMEAUX FB font partie de l'initiative d'entreprise d'EVG pour mettre en application des normes Principales de 300 millimètres en travers de plusieurs de ses plates-formes de matériel de leader. Particulièrement, EVG a comporté un tampon matériel local, que plus que double le numéro de FOUPs (nacelles unifiées par ouverture avant) sur le système à 10 pour le fonctionnement continu de mode. EVG a également utilisé un système de transport neuf et plus rapide de disque dans la plate-forme des GÉMEAUX FB--utilisant des effecteurs de double-fin sur les effecteurs comparés d'unique-fin de système robotique.

Une fonctionnalité clé de la plate-forme des GÉMEAUX FB comprend le lancement de plasma de basse température, qui active la métallisation de disque de basse température (degrés Celsius <400) et le stress/adoucissement sans dommage--un élément indispensable pour le Capteur d'image cmos et les applications d'intégration 3D. EVG également amélioré sa technologie de propriété industrielle de SmartViewR, qui tient compte du cadrage d'obligation d'universel pour le cadrage de face à face, de postérieur, infrarouge et transparent des disques jusqu'à 300 millimètres avec l'épaisseur et les matériaux variables--fournissant la meilleure exactitude de cadrage disponible aujourd'hui. Les Améliorations au système de cadrage de SmartView comprennent le logiciel neuf qui optimise des séquences de processus et la vitesse. Avec ces améliorations combinées à la plate-forme des GÉMEAUX FB, EVG a expliqué une augmentation de 26 pour cent de débit--ayant pour résultat des vitesses du disque jusqu'à 18-20 colle par heure, selon la configuration de cavité, les applications d'abonnée et les recettes de processus.

EVG montrera à SEMICON Taïwan, qui sera retenu les 7-9 septembre 2011 à Taïpeh, Taïwan. Des Medias et les analystes intéressés à apprendre plus au sujet de la compagnie et de ses développements récents sont encouragés à visiter la cabine #2506 d'EVG. De plus, plusieurs cadres d'EVG présenteront pendant le long événement de trois jours. Visite www.semicontaiwan.org/en/ pour plus d'information.

Last Update: 11. January 2012 05:56

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