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Molekulare Impressen, zum von Lithographie-Anlagen für 450 mm Waferherstellung Zu Liefern

Published on November 18, 2011 at 2:04 AM

Durch Cameron Chai

Molekulare Impressen, ein Pionier in nanopatterning Lösungen, hat erklärt, dass ein bedeutender Hersteller der integrierten Schaltung eine Ordnung zugesprochen hat, um eine erst-von-sein-nette 450-mm-fähige Lithographieanlage zu konstruieren.

J-FIL Technologie in einer Halbleiteranwendung

Die Ordnung umfaßt auch einen kopierenden Dienstvertrag des Wafers der fünfjährigen Amtszeit und das Zubehör von mehr 450 mm-nanoimprint Anlagen als Option. Die Verfügbarkeit von Impressummasken der besseren Qualität auf dem Markt und die Molekularen Impressen' interne Technologie der Jet- und Blinkenimpressumlithographie (J-FIL) waren die Gründe hinter der Auswahl der Firma, der Industrieschicht zu 450 mm-Wafers zu helfen.

Molekulare Impressen' J-FIL Technologie hat seine Fähigkeit von 24 nm aufgewiesen, das mit überlegener kritischer Abmessungseinheitlichkeit von 1,2 nm CDU bei Sigma 3 und einer Zeile Randrauheit von unter 2 nm LER bei Sigma 3, mit Ersteigbarkeit über sub-18 kopiert nm, das eine grundlegende einzelne kopierende Schritttechnik verwendet.

J-FILs niedrige Kosten des Besitzes verursacht, indem sie verwickelte optische Spiegel und Objektive, macht-verbrauchende Lichtquellen des Röntgenstrahls und bevorstehende ultrasensitive Photoresists beseitigen, machen es geeignet für den Bau der 450 mm-Lithographieanlage. Entsprechend den Vertragsbedingungen, entbinden Molekulare Impressen die Lithographieanlage und andere Waferdienstleistungen, die von der zweiten Hälfte von 2012 abfahren.

Das Waferservice-Abkommen der fünfjährigen Amtszeit benötigt die Lieferung von kopierten Wafers 450 mm vollständig zum G450C-Konsortium mit einer Klausel, mehr J-FIL Impressumanlagen zu kaufen, wenn es benötigt wird. Molekulare Impressum-' Vorsitzender des Vorstandes, Kennzeichen Melliar-Smith gab an, dass die Technologie das J-FIL der Firma die einzige erhältliche Lithographieanlage der Industrie ist, die den 450mm Übergang der Industrie beschleunigen kann.

Quelle: http://www.molecularimprints.com

Last Update: 12. January 2012 12:36

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