Molekulare Impressen, zum von Lithographie-Anlagen für 450 mm Waferherstellung Zu Liefern

Durch Cameron Chai

Molekulare Impressen, ein Pionier in nanopatterning Lösungen, hat erklärt, dass ein bedeutender Hersteller der integrierten Schaltung eine Ordnung zugesprochen hat, um eine erst-von-sein-nette 450-mm-fähige Lithographieanlage zu konstruieren.

J-FIL Technologie in einer Halbleiteranwendung

Die Ordnung umfaßt auch einen kopierenden Dienstvertrag des Wafers der fünfjährigen Amtszeit und das Zubehör von mehr 450 mm-nanoimprint Anlagen als Option. Die Verfügbarkeit von Impressummasken der besseren Qualität auf dem Markt und die Molekularen Impressen' interne Technologie der Jet- und Blinkenimpressumlithographie (J-FIL) waren die Gründe hinter der Auswahl der Firma, der Industrieschicht zu 450 mm-Wafers zu helfen.

Molekulare Impressen' J-FIL Technologie hat seine Fähigkeit von 24 nm aufgewiesen, das mit überlegener kritischer Abmessungseinheitlichkeit von 1,2 nm CDU bei Sigma 3 und einer Zeile Randrauheit von unter 2 nm LER bei Sigma 3, mit Ersteigbarkeit über sub-18 kopiert nm, das eine grundlegende einzelne kopierende Schritttechnik verwendet.

J-FILs niedrige Kosten des Besitzes verursacht, indem sie verwickelte optische Spiegel und Objektive, macht-verbrauchende Lichtquellen des Röntgenstrahls und bevorstehende ultrasensitive Photoresists beseitigen, machen es geeignet für den Bau der 450 mm-Lithographieanlage. Entsprechend den Vertragsbedingungen, entbinden Molekulare Impressen die Lithographieanlage und andere Waferdienstleistungen, die von der zweiten Hälfte von 2012 abfahren.

Das Waferservice-Abkommen der fünfjährigen Amtszeit benötigt die Lieferung von kopierten Wafers 450 mm vollständig zum G450C-Konsortium mit einer Klausel, mehr J-FIL Impressumanlagen zu kaufen, wenn es benötigt wird. Molekulare Impressum-' Vorsitzender des Vorstandes, Kennzeichen Melliar-Smith gab an, dass die Technologie das J-FIL der Firma die einzige erhältliche Lithographieanlage der Industrie ist, die den 450mm Übergang der Industrie beschleunigen kann.

Quelle: http://www.molecularimprints.com

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