Tegal Termina a Venda da Carteira da Patente do Depósito de Nanolayer

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

Por Cameron Chai

Tegal declarou que emitiu patentes de sua carteira da patente (NLD) do depósito do nanolayer para três lotes oferecidos a diversos licitantes. O número total de lotes oferecidos oferecidos para a venda é quatro, que é avaliada em aproximadamente $4 milhões. Até agora, a empresa recebeu aproximadamente $3,6 milhões.

A carteira da patente de NLD compreende sobre os 35 Estados Unidos e patentes internacionais no campos de NLD, do depósito plasma-aumentado da atômico-camada (ALD) e do depósito de vapor do pulsar-produto químico (CVD). Mais de 30 patentes da carteira foram vendidas pela empresa.

A tecnologia de processamento, NLD combina as vantagens do altamente constituído, baixo durante todo ALD e o CVD não-constituído, alto da produção. Como parte de sua estratégia do despojamento para vender os recursos relativos ao equipamento de capital do semicondutor, Tegal decidiu vender a carteira da patente de NLD este ano.

em Fevereiro de 2010, SPTS baseado em Newport, Gales, o negócio reactivo profundo gravura em àgua forte do íon do Tegal comprado Reino Unido. Subseqüentemente, Grupo do OEM baseado em Gilbert, Arizona, depósito de vapor físico adquirido e linhas de produtos de fita fina gravura em àgua forte de Tegal em março de 2010.

Presentemente, Tegal está trabalhando sobre para vender o lote 4 da carteira que cobre patentes de baixas-k tecnologias da barreira do dielétrico e do cobre. O Tecnólogo Principal da empresa, Robert Ditizio indicou que os produtores do equipamento mostraram o interesse nos primeiros três lotes, quando os produtores do dispositivo do circuito integrado mostrarem o interesse no quarto lote.

Source: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:30

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