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Tegal Termina a Venda da Carteira da Patente do Depósito de Nanolayer

Por Cameron Chai

Tegal declarou que emitiu patentes de sua carteira da patente (NLD) do depósito do nanolayer para três lotes oferecidos a diversos licitantes. O número total de lotes oferecidos oferecidos para a venda é quatro, que é avaliada em aproximadamente $4 milhões. Até agora, a empresa recebeu aproximadamente $3,6 milhões.

A carteira da patente de NLD compreende sobre os 35 Estados Unidos e patentes internacionais no campos de NLD, do depósito plasma-aumentado da atômico-camada (ALD) e do depósito de vapor do pulsar-produto químico (CVD). Mais de 30 patentes da carteira foram vendidas pela empresa.

A tecnologia de processamento, NLD combina as vantagens do altamente constituído, baixo durante todo ALD e o CVD não-constituído, alto da produção. Como parte de sua estratégia do despojamento para vender os recursos relativos ao equipamento de capital do semicondutor, Tegal decidiu vender a carteira da patente de NLD este ano.

em Fevereiro de 2010, SPTS baseado em Newport, Gales, o negócio reactivo profundo gravura em àgua forte do íon do Tegal comprado Reino Unido. Subseqüentemente, Grupo do OEM baseado em Gilbert, Arizona, depósito de vapor físico adquirido e linhas de produtos de fita fina gravura em àgua forte de Tegal em março de 2010.

Presentemente, Tegal está trabalhando sobre para vender o lote 4 da carteira que cobre patentes de baixas-k tecnologias da barreira do dielétrico e do cobre. O Tecnólogo Principal da empresa, Robert Ditizio indicou que os produtores do equipamento mostraram o interesse nos primeiros três lotes, quando os produtores do dispositivo do circuito integrado mostrarem o interesse no quarto lote.

Source: http://www.tegal.com

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