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新加坡研究中心发出订单 Arradiance 的 ALD 工具

Published on January 19, 2012 at 1:54 AM

卡梅伦柴

Arradiance 宣布研究和技术的新加坡 MIT 联盟 (聪明) 发出了订单 Arradiance 的 GEMStar-8 benchtop 基本层证言 (ALD)系统。 它是这个系统的公司的第一个指令。

GEMStar-8 benchtop ALD 系统

GEMStar 能够处理薄酥饼有直径 8" 通过使用 8 个前体。 因此,它有处理的通用性为最困难设计的复杂处方,高方面比例应用。

工艺过程开发的 Arradiance 的主任和首席科学家,菲利普角 de Rouffignac 博士阐明,与其在超离频的长宽比和敏感微通道结构的广泛的经验,这家公司了解系统的必要性能够重复,统一和高效存款影片。 Rouffignac 补充说,这家公司也了解那执行研究员的需求,这个系统必须是紧凑,强大和多才多艺的处理清楚的一些应用、材料和基体。

根据 MIT 研究科学家, Mayank Bulsara 博士, GEMStar 执行需求聪明的 ALD 工具。 Bulsara 补充说, GEMStar 紧凑,灵活和能够处理数为复杂的半导体工艺过程开发和芯片设计工作需要的 8 英寸薄酥饼。

Arradiance 的总执行官,肯 Stenton 阐明,与其在产品开发、系统工程师和材料学的清楚的知识,这家公司开发了为工程师和研究员的一个强大的 ALD 工具。 更加进一步的 Stenton 说这家公司确信其 GEMStar-8 benchtop ALD 工具将超过所有需要。

来源: http://www.arradiance.com/

Last Update: 22. January 2012 10:24

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