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개가식 NanoLab는 옥스포드 계기에서 RIE와 PECVD 공구를 추가합니다

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

최신식 나노 과학 관련된 연구, 네덜란드에 있는 NanoLab@TU /e를 위한 열려있 접근 시설은, 2개의 새로운 옥스포드 계기 플라스마 시스템의 최근 추가와 더불어 그것의 기능을, 확장하는 것을 계속합니다.

NanoLab@TU /e 의 TU/e의 심상 의례

"PlasmaPro System100 RIE와 PlasmaPro System100 ICP-PECVD 공구 많은 것을 옥스포드 계기 공구"가 인, 뿐 아니라 NanoLabNL 이니셔티브 내의 우리의 파트너를 위해 III-V photonic 장치의 가공에 전념한 이미 기존 연장 세트를 보충하는 다중목적 시스템, 말했습니다 Erwin Kessels 의 플라스마 교수를입니다 & 물자 가공 단, 적용 물리학, TU/e.의 부 "우리의 자신의 연구를 위한 우리의 기능을 강화합니다. 그(것)들은 또한 우리의 청정실의 광대한 ALD 기능을 보충합니다, 그것은 이미 포함합니다 옥스포드 계기에서 2 FlexAL 그리고 1개의 단백석 플라스마 및 열 ALD 시스템을."

Kessels 교수는 기능에, "F-를 둘 다 달리는 것을 계속하고 CL 화학은 "표준" 실리콘 포함 물자 (SiO2, Si3N4, Si)의 가공을 위해 뿐 아니라 NbN와 같은 추가 "이국적인" 물자 식각을 위해, PlasmaPro System100 RIE 공구 사용될 것입니다."

니오브 질화물 박막의 에칭은 nanostructured superconducting 단 하나 광양자 검출기를 날조하기 위하여 이용됩니다. 이 응용을 위해 TU/e는 F 기지를 둔 화학을 가진 전자 光速 석판인쇄술 그리고 에칭에 의하여 5 nm 두꺼운 NbN 필름에 있는 ultranarrow (50 nm) 긴축을, 정의할 필요가 있었습니다.

유래 장치가 4 K에 아래로 냉각되고 중요한 현재에 가깝게 기울게 할 때, 긴축 지구에서 흡수된 단 하나 광양자는 (및 단지 거기) superconducting 저항하는 전환을 초래해, 전압 펄스를 일으키. 이것은 전례가 없는 감도를 가진 가깝 필드 화상 진찰을 위해 사용될 수 있던 nm의 몇몇 10의 공간적 해상도를 가진 단 하나 광양자 검출기 귀착됩니다.

Vosloo를 표를 하십시오, 옥스포드 계기 플라스마 기술에 판매 그리고 고객 지원 디렉터는 이 추가 시스템 판매의 중요성을, "우리의 넓은, 유연한 인식하고 믿을 수 있는 시스템 및 가공 제안은 글로벌로 우수의 옥스포드 계기 센터로 설치해 되어 몇명의 나노 과학 연구소로 이끌어 내는 것을 가지고 있습니다. 몇몇 장기 관계는 연구소와 우리의 회사 사이에서 발전하고, TU/e는 우리가 공저하기 위하여 기뻐하는 설립의 한개입니다. 우리의 고객은 우리의 경험을 가장 진보된 혁신적인 기술 및 그들의 과학적인 목표를 달성하기 위하여 서비스를 제공하기 위하여 의지합니다."

Last Update: 28. March 2012 20:23

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