Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

De Open Toegang NanoLab Voegt Hulpmiddelen RIE en PECVD van de Instrumenten van Oxford toe

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

De open-toegangsfaciliteit voor overzicht op nanotechnologie betrekking hebbend onderzoek, NanoLab@TU /e naar Nederland, blijft zijn mogelijkheden, met de recente toevoeging van twee nieuwe het plasmasystemen van de Instrumenten van Oxford uitbreiden.

NanoLab@TU /e, de Hoffelijkheid van het Beeld van TU/e

De „hulpmiddelen icp-PECVD van PlasmaPro System100 RIE en van PlasmaPro System100 zijn multifunctionele systemen die de reeds bestaande hulpmiddelreeks gewijd aan de verwerking van IIIV photonic apparaten aanvullen, veel waarvan de hulpmiddelen van de Instrumenten van Oxford“ zijn, zeiden de Groep van Prof. Erwin Kessels, van het Plasma & van de Verwerking van Materialen, Dienst van Toegepaste Fysica, TU/e. „Zij versterken onze mogelijkheden voor ons eigen onderzoek evenals dat voor onze partners binnen het initiatief NanoLabNL. Zij vullen ook het uitgebreide ALD-Vermogen van onze schone ruimte aan, die reeds twee FlexAL en één Opalen plasma en thermische systemen ALD van de Instrumenten van Oxford.“ bevat

Prof. Kessels gaat, „Met het vermogen verder om de chemie zowel van F in werking te stellen als van Cl, het hulpmiddel RIE van PlasmaPro System100 zal voor „standaard“ verwerking van silicium-bevattende materialen (SiO2, Si3N4, Si) evenals voor het etsen van meer „exotische“ materialen zoals NbN.“ worden gebruikt

De ets van niobium nitride de dunne films om wordt gebruikt te vervaardigen nanostructured supergeleidende enig-fotondetectors. Voor deze toepassing moest TU/e een ultranarrow (50 NM) beklemming in een film 5 NM-dikke NbN, door elektron-straal lithografie en ets met op F-Gebaseerde chemie bepalen.

Wanneer het resulterende apparaat aan 4 K wordt afgekoeld en dicht bij de kritieke stroom beïnvloed, leidt een enig-foton dat in het beklemmingsgebied wordt geabsorbeerd (en slechts daar) tot een supergeleidend-weerstand biedende overgang, veroorzakend een voltageimpuls. Dit resulteert in een enig-fotondetector met een ruimteresolutie van weinig tientallen van NM, die voor dichtbijgelegen-gebiedsweergave met een ongekende gevoeligheid zouden kunnen worden gebruikt.

Het Teken Vosloo, de Verkoop en De Directeur van de Klantenondersteuning bij de Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford erkennen het belang van deze extra systeemverkoop, „Ons breed, flexibel en betrouwbaar systeem en proces het aanbieden heeft tot een aantal onderzoekinstituten die van nanotechnologie leiden globaal worden die als expertisecentra van de Instrumenten van Oxford worden gevestigd. Verscheidene verhoudingen hebben op lange termijn zich tussen onderzoekscentra en ons Bedrijf ontwikkeld, en TU/e is één van de ondernemingen waar wij het genoegen hebben samen te werken. Onze klanten baseren zich op onze ervaring om de meest gevorderde en innovatieve technologie en de dienst te verlenen, om hun wetenschappelijke doelstellingen te bereiken.“

Last Update: 28. March 2012 20:22

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit