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ITME Compra el Sistema Avance de la Litografía del Electrón-Haz de Vistec

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Por Cameron Chai

El Instituto de la Tecnología de Materiales Electrónica (ITME) basada en Varsovia ha comprado el SB251, un sistema de haz dado forma variable del Haz Electrónico De Vistec, un proveedor de los sistemas de la litografía del electrón-haz.

El sistema de Vistec SB351

El Vistec SB251 será utilizado para la investigación y fabricación de diversos tipos de elementos difrangentes y microópticos, de materiales nuevos, y de máscaras de la litografía óptica. ITME está implicado en la investigación, el revelado y la producción de dispositivos, de materiales y de componentes innovadores para el uso en optoelectrónica, micromecánica, y electrónica. El instituto seleccionó el sistema con un procedimiento de ofrecimiento Europeo.

El sistema universal se desarrolla para la máscara que hace y directo escriba las exposiciones. Puede manejar y exponer los materiales transparentes y no transparantes que se utilizan en la óptica y aplicaciones del semiconductor. Tiene una plataforma de la exposición el ofrecer de un rango del viaje del escenario de 210x210 milímetro, una matriz del direccionamiento de 1 nanómetro, y una óptica de electrón de 50 kilovoltios. Con estas características, el sistema puede realizar la litografía en menos de 50 nanómetro en diversos substratos de componentes hasta 7" las máscaras y los fulminantes de 200 milímetros.

Las características totalmente automatizadas de la manipulación y de la interfaz gráfica de usuario del substrato del magazín-a-magazín del electrón-haz del sistema avanzado de la litografía le permiten ser utilizadas eficazmente en un ambiente multiusos versátil en las organizaciones como ITME. Por Otra Parte, tiene ePLACE, un paquete de programas informáticos de la preparación de datos.

Según Director General el Haz Electrónico De Vistec, Wolfgang Dorl, el SB251 es versátil y seguro, haciendo el sistema conveniente para que ITME maneje sus aplicaciones presentes y futuras. El Director de ITME, el Dr. Zygmunt Luczynski declaró que se prevee que el nuevo Vistec SB251 desempeñe un papel principal en el orden del día de la investigación y desarrollo de ITME.

Fuente: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:55

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