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ITME Compra o Sistema Avançado da Litografia do Elétron-Feixe de Vistec

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Por Cameron Chai

O Instituto da Tecnologia de Materiais Eletrônica (ITME) baseada em Varsóvia comprou o SB251, um sistema de feixe dado forma variável do Feixe de Elétron de Vistec, um fornecedor de sistemas da litografia do elétron-feixe.

O sistema de Vistec SB351

O Vistec SB251 será utilizado para a pesquisa e a fabricação de tipos diferentes de elementos diffractive e micro-ópticos, de materiais novos, e de máscaras da litografia óptica. ITME é envolvido na pesquisa, na revelação e na produção de dispositivos, de materiais e de componentes inovativos para o uso na óptica electrónica, na micromecânica, e na eletrônica. O instituto seleccionou o sistema com um procedimento de oferecimento Europeu.

O sistema universal é desenvolvido para a máscara que faz e directo escreva exposições. Pode segurar e expr os materiais transparentes e não transparentes que são usados no sistema ótico e nas aplicações do semicondutor. Tem uma plataforma da exposição caracterizar uma escala do curso da fase de 210x210 milímetro, uma grade do endereço de 1 nanômetro, e um sistema ótico de elétron de 50 quilovolts. Com estas características, o sistema pode executar a litografia em menos de 50 nanômetro em carcaças diferentes dos componentes até 7" máscaras e bolachas de 200 milímetros.

A manipulação completamente automatizada da carcaça da gaveta-à-gaveta do sistema avançado da litografia do elétron-feixe e as características gráficas da interface de utilizador permitem-no de ser usadas eficazmente em um ambiente multiusuário versátil em organizações como ITME. Além Disso, tem o ePLACE, um pacote de software da preparação de dados.

De acordo com o Director Geral de Feixe de Elétron de Vistec, Wolfgang Dorl, o SB251 é versátil e seguro, fazendo o sistema apropriado para que ITME segure suas aplicações presentes e futuras. O Director de ITME, Dr. Zygmunt Luczynski indicou que o Vistec novo SB251 está esperado jogar um maior protagonismo na agenda da investigação e desenvolvimento de ITME.

Source: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:54

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