ITME Закупает Систему Литографированием Луча электронов Vistec Выдвинутую

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Камероном Chai

Институт Электронной Технологии Материалов (ITME) основанной в Варшаве покупал SB251, переменную форменную систему луча от Луча Электронов Vistec, провайдер систем литографированием луча электронов.

Система Vistec SB351

Vistec SB251 будет использован для исследования и изготовления разных видов диффракционных и микро--оптически элементов, романных материалов, и маск оптически литографированием. ITME включается в исследование, развитие и продукцию новаторских приборов, материалов и компонентов для пользы в оптической электронике, микромеханике, и электронике. Институт выбрал систему путем Европейский смягчая процесс.

Всеобщая система начата и для маски делая и сразу напишите выдержки. Она может отрегулировать и подвергнуть действию и прозрачные и non-прозрачные материалы которые использованы в оптике и применениях полупроводника. Она имеет платформу выдержки отличать рядом перемещения этапа 210x210 mm, решетки адреса 1 nm, и оптики электрона 50 kV. С этими характеристиками, система может выполнить литографирование в меньш чем 50 nm на различных субстратах от компонентов до 7" маски и вафли 200 mm.

Характеристики регулировать и графического интерфейса пользователя субстрата кассет-к-кассеты предварительной системы литографированием луча электронов вполне автоматизированные позволяют он быть использованным эффектно в разносторонней multiuser окружающей среде на организациях как ITME. Сверх Того, оно имеет ePLACE, пакет программ подготовки данных.

Согласно Генеральному Директору Луча Электронов Vistec, Wolfgang Dorl, SB251 разностороннь и надежн, делающ систему соответствующим для ITME отрегулировать свои присутствующие и будущие применения. Директор ITME, Др. Zygmunt Luczynski заявил что ожидано, что играет новый Vistec SB251 главную роль в повестке дня научных исследований и разработки ITME.

Источник: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit