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Posted in | Nanofabrication

オックスフォードの器械の進水の PlasmaPro Estrelas100 のケイ素の腐食のツール

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

血しょう腐食のリーダーおよび沈殿処理システム、オックスフォードの器械血しょう技術は、厳密な選択過程に続くトロント大学からの最近進水させた PlasmaPro Estrelas100 の深いケイ素の腐食のツールのための発注に、勝ちました。

システムは大学の中央マイクロおよび nanofabrication 機能、 (ECTI)役立つ学術の研究開発の必要性、またトレーニング機能の出現のコミュニケーション技術の協会のために購入されました。

PlasmaPro Estrelas100 の深いケイ素の腐食の技術は企業の一流プロセスパフォーマンスを提供し、心の R & D の市場と、システムはプロセス柔軟性の最終的の提供します開発される。 Nano およびマイクロ構造は同じ区域の Bosch™そして cryo の腐食の技術を実行する機能とハードウェアとして設計されていました実現することができます。

スムーズなサイドウォールプロセスから高い腐食のレートキャビティ腐食への MEMS アプリケーションの広い範囲が区域のハードウェアを変更する必要性なしで達成されるかもしれないことを保障するように、 PlasmaPro Estrelas100 は設計されていました。

Yu 日曜日のディレクター、 「この高度のツールおよび MEMS のための ECTI の NEMS 注釈教授は ECTI が実行中の学際的な研究を行なうことを可能にします。 革新のためのカナダの基礎は (CFI) DRIE を含むいろいろ重要なツールおよび化学および生物学の Microfluidic システムのための中心のための他のツールの購入そして依託に資金を供給しました。 私達は選択しました装置の品質のオックスフォードの器械の PlasmaPro Estrelas100 を、パフォーマンスおよび機能、またオックスフォードの器械によって提供された優秀なシステム支援」。

PlasmaPro Estrelas100 は、ナノテクノロジーを含む主研究分野で、戦略パートナとの共同の研究のためにおよび nanofabrication、光通信材料および装置、マイクロおよび nano 電気機械システム (M/NEMS)、人間工学、マイクロおよび nano 電子装置、統合された光学および光起電装置使用されます。

「オックスフォード器械血しょう技術」、はマーク Vosloo のオックスフォードの器械血しょう技術の販売コメントします MEMS の市場のあるおよび出現アプリケーションをアドレス指定する技術を提供し続けます及び広いプロセスおよびアプリケーションポートフォリオを持つマーケティング担当重役は、 「、私達の技術今日識別されるアプリケーションおよび明日のアプリケーションの多数を可能にします。 使用できる最も革新的なツールをそれらに与える MEMS R & D の経験 20 年のにによって私達は市場を理解し、対応します私達の顧客の必要性に」。

Last Update: 19. June 2012 13:19

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