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Ferramenta Gravura Em Àgua Forte do Silicone de PlasmaPro Estrelas100 do Lançamento dos Instrumentos de Oxford

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

O Líder em sistemas de processamento gravura em àgua forte e do depósito do plasma, Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford, ganhou um pedido para sua ferramenta profunda recentemente lançada gravura em àgua forte do silicone de PlasmaPro Estrelas100, da Universidade de Toronto que segue um processo de selecção rigoroso.

O sistema foi comprado para o Instituto Emergente da Tecnologia das Comunicações (ECTI) facilidade central na a micro da Universidade e da nanofabricação, servindo necessidades académicos da investigação e desenvolvimento, assim como treinando funções.

A tecnologia profunda gravura em àgua forte do silicone de PlasmaPro Estrelas100 entrega desempenho principal do processo da indústria, e, desenvolvido com o mercado do R&D da mente, o sistema oferece o final na flexibilidade do processo. As estruturas Nano e micro podem ser realizadas como o hardware foram projectadas com a capacidade para executar Bosch™ e tecnologias gravura em àgua forte do cryo na mesma câmara.

Dos processos lisos do sidewall gravura em àgua forte altas da cavidade da taxa gravura em àgua forte, o PlasmaPro Estrelas100 foi projectado assegurar-se de que a vasta gama de aplicações de MEMS pudesse ser conseguida sem a necessidade de mudar o hardware da câmara.

O Professor Yu Sun dos Comentários, Director de ECTI, “Esta ferramenta avançada para MEMS e NEMS permitirá ECTI de conduzir a pesquisa interdisciplinar activa. A Fundação de Canadá para a Inovação (CFI) financiou a compra e a comissão de uma grande variedade de ferramentas importantes que incluem DRIE e de outras ferramentas para o Centro para Sistemas de Microfluidic na Química e na Biologia. Nós escolhemos o PlasmaPro Estrelas100 dos Instrumentos de Oxford na qualidade do equipamento, o desempenho e as capacidades, assim como o sistema de apoio excelente oferecido por Instrumentos de Oxford.”

O PlasmaPro Estrelas100 será usado para a pesquisa colaboradora com parceiros estratégicos, nas áreas de pesquisa chaves, incluindo a nanotecnologia e a nanofabricação, materiais e dispositivos fotónicos, os micro e sistemas nano-electromecânicos (M/NEMS), a biotecnologia, micro e dispositivos nano-eletrônicos, sistema ótico integrado, e dispositivos fotovoltaicos.

De “os Instrumentos Oxford a Tecnologia do Plasma que continua a fornecer as tecnologias que endereçam aplicações existentes e emergentes no mercado de MEMS,” comentários Marcam Vosloo, Vendas da Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford & o Director de Marketing, “Com um processo e uma carteira largos da aplicação, nossas tecnologias permite muita das aplicações identificadas hoje e daquelas de amanhã. Com sobre 20 anos de experiência no R&D de MEMS nós compreendemos o mercado, e endereçamos as necessidades de nossos clientes de fornecê-los as ferramentas as mais inovativas disponíveis.”

Last Update: 19. June 2012 13:20

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