Posted in | Nanofabrication

Инструмент Etch Кремния PlasmaPro Estrelas100 Старта Аппаратур Оксфорда

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

Руководитель в системах обработки etch и низложения плазмы, Технологии Плазмы Аппаратур Оксфорда, выиграл заказ для своего недавно запущенного инструмента etch кремния PlasmaPro Estrelas100 глубокого, от Университета Торонто следовать неукоснительный процессом выбора.

Система была закуплена для Вытекая Института Технологии Связей (ECTI) в средстве микро- Университета центральном и nanofabrication, служя академичных потребностях научных исследований и разработки, так же, как тренируя функциях.

Технология etch кремния PlasmaPro Estrelas100 глубокая поставляет представление индустрии ведущее отростчатое, и, начатое с рынком R&D в разуме, система предлагает типичную в отростчатой гибкости. Nano и микро- структуры можно осуществить как оборудование были конструированы с способностью работать Bosch™ и технологии etch cryo в такой же камере.

От ровных процессов стенки к высоким etches полости тарифа etch, PlasmaPro Estrelas100 было конструировано для того чтобы обеспечить что широкий диапазон применений MEMS может быть достиган без потребности изменить оборудование камеры.

Профессор Yu Солнце Комментариев, Директор ECTI, «Этот предварительный инструмент для MEMS и NEMS позволит ECTI дирижировать активное междисциплинарное исследование. Учредительство Канады для Рационализаторства (CFI) фондировало покупка и поручать большого разнообразия важных инструментов включая DRIE и других инструментов для Центра для Систем Microfluidic в Химии и Биологии. Мы выбрали PlasmaPro Estrelas100 Аппаратур Оксфорда на качестве оборудования, представлении и возможностях, так же, как превосходной системной поддержке предложенной Аппаратурами Оксфорда.»

PlasmaPro Estrelas100 будет использовано для сотруднического исследования с стратегический партнёр, в ключевых зонах исследования, включая нанотехнологию и nanofabrication, фотонные материалы и приборы, микро- и nano-электро-механические системы (M/NEMS), биотехнологию, микро- и nano-электронные приборы, интегрированную оптику, и фотовольтайческие приборы.

«Аппаратуры Оксфорда Технология Плазмы продолжается обеспечить технологии которые адресуют существуя и вытекая применения в рынке MEMS,» комментарии Маркируют Vosloo, Сбывания Технологии Плазмы Аппаратур Оксфорда & Директор по Маркетингу, «С обширными процессом и портфолио применения, наши технологии включает много из применений определенных сегодня и того из завтра. С над 20 летами опыта в R&D MEMS мы понимаем рынок, и адресуем потребности наших клиентов обеспечить их с самыми новаторскими инструментами доступными.»

Last Update: 19. June 2012 13:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit