Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

Oxford Instrumenterar BarkassPlasmaPro Estrelas100 Silikoner Etsar Bearbetar

Published on June 19, 2012 at 12:19 PM

Ledare i plasma etsar, och avlagring som bearbetar system, Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi, har segrat en beställa för dess för en tid sedan lanserade PlasmaPro Estrelas100 djupa silikoner etsar bearbetar, från Universitetar av Toronto efter ett processaa rigoröst val.

Systemet inhandlades för det Dyka Upp Institutet för KommunikationsTeknologi (ECTI) i mikroUniversitetar central, och nanofabricationlättheten, akademisk forskning för portion och utveckling behöver, såväl som utbilda fungerar.

PlasmaPro Estrelas100 de djupa silikonerna etsar teknologi levererar den ledande processaa kapaciteten för bransch, och som framkallas med R&DEN, marknadsföra i åtanke, systemet erbjuder det ultimat i processaa böjlighet. Nano och mikro strukturerar kan realiseras som maskinvaran har planlagts med kapaciteten att köra Bosch™, och cryoen etsar teknologier i den samma kammaren.

Från släta sidoväggen bearbetar till kicken etsar klassar hålet etsar, PlasmaProen Estrelas100 har planlagts att se till att lång räcka av MEMS-applikationer kan uppnås utan behovet att ändra kammaremaskinvaran.

KommentarProfessorn Yu Sun, Direktör av ECTI, ”Detta avancerat bearbetar för MEMS, och ska NEMS möjliggör ECTI för att föra tvärvetenskaplig forskning för aktiv. Det Kanada Fundamentet för Innovation (CFI) betalade köp, och att bemyndiga av en bred variation av viktigt bearbetar inklusive DRIE, och annat bearbetar för Centrera för Microfluidic System i Kemi och Biologi. Vi valde Oxford Instruments PlasmaPro Estrelas100 på kvalitets- utrustning, kapacitet och kapaciteter, såväl som den utmärkta systemservicen som erbjuds av Oxford, Instrumenterar.”,

Den ska PlasmaProen Estrelas100 används för kollaborativ forskning med strategiska partners, i nyckel- forskningområden, inklusive nanotechnology och nanofabrication, photonic material och apparater, mikro- och nano-elektromekaniska system (M/NEMS), bioteknik, mikro- och nano-elektroniska apparater, inbyggd optik och photovoltaic apparater.

”Instrumenterar Oxford PlasmaTeknologi fortsätter för att ge teknologier, som tilltalar existerande, och dyka upp applikationer i MEMSEN marknadsföra,” kommentarer Markerar Vosloo, Instrumenterar Oxford PlasmaTeknologiSalar & MarknadsföraDirektören, ”Med ett brett bearbeta, och applikationportföljen, våra teknologier möjliggör många av applikationerna som i dag identifieras, och de av i morgon. Med över 20 år erfara i MEMS-R&D som vi förstår marknadsföra och tilltala behoven av våra kunder att ge dem med det mest innovativ bearbetar tillgängligt.”,

Last Update: 19. June 2012 13:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit