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Posted in | Nanoelectronics

La Technologie de Silicium de Shenyang de Constructeur de Disque Installe le Système Robotisé de Métallisation de Production

Published on October 10, 2012 at 5:37 AM

Le Groupe (EVG), un principal fournisseur de matériel de métallisation et de lithographie de disque pour le MEMS, nanotechnologie et marchés de semi-conducteur, ont aujourd'hui annoncé que Shenyang Silicon Technology Co. Ltd. (SST) a avec succès installé un EVG850LT 300 millimètres, système de métallisation de production automatisé par basse température pour des matériaux (SOI) de silicium-sur-isolant.

Le fournisseur en participation de disque de China-U.S. SOI a sélecté le bonder de 300 millimètres comme suivi à son achat antérieur des 200 millimètres EVG850LT. Le système s'est déjà transporté à l'installation de pointe de SST, marquant la première installation en Chine 300 d'un outil de production de disque du millimètre SOI.

« Notre 200 système du millimètre EVG850LT a été instrumental en nous aidant remplissent les besoins des clients pour les disques performants de SOI, » Prof. indiqué. Il ZhiQiang, PRÉSIDENT de SST. « Pendant Que nous examinons pour avancer notre capacité de produire des disques de 300 millimètres SOI dans les grands volumes, nous avons besoin de technologie qui offre le même degré de fiabilité, de débit et de qualité que nous avons remarqué avec notre bonder antérieur d'EVG, ainsi ajouter une version de 300 millimètres de l'EVG850LT à notre ligne était une décision facile à effectuer. »

Une technologie de activation principale pour le procédé de fabrication de disque de SOI, métallisation de disque réalise la haute qualité, films monocristallins de silicium sur les substrats isolants. Avec le système de métallisation de production d'EVG850LT SOI, toutes les phases d'essentiel pour la métallisation à basse température de SOI, du nettoyage et du cadrage à la pré-métallisation et à l'inspection d'IR, sont combinées pour assurer un procédé de production élevé de rendement pour les disques sans nulle de 300 millimètres. Ceci a activé l'établissement de la famille EVG850 comme l'industriellement compatible sur le marché de disque de SOI.

Swen Zhu, directeur des ventes pour le Groupe d'EV en Chine, remarquables, « La demande des dispositifs SOI-basés continue à se développer rapidement, en particulier sur les marchés émergents tels que la Chine, produisant plus d'opportunité pour qu'EVG étende nos relations avec nos abonnées produisant des disques de SOI. Cette commande de suivi de SST sert à renforcer notre alliance et à étendre le commandement prouvé d'EVG en fournissant la technologie de la transformation avancée pour le développement de disque de SOI. »

Source : http://www.EVGroup.com

Last Update: 10. October 2012 06:23

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