Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoelectronics

웨이퍼 제조자 심양 실리콘 기술은 자동화한 생산 접합 시스템을 설치합니다

Published on October 10, 2012 at 5:37 AM

심양 실리콘 기술 Co. 주식 회사 (SST) 성공적으로 EVG850LT 300 mm를 설치했다는 것을 단 (EVG), MEMS 의 나노 과학과 반도체 시장을 위한 웨이퍼 접합과 석판인쇄술 장비의 주요한 공급자는, 오늘, 실리콘 온 인슐레이터 물자를 위한 낮 온도에 의하여 자동화된 생산 접합 시스템 (SOI) 알렸습니다.

중국 미국 합작 투자 SOI 웨이퍼 공급자는 200 mm EVG850LT의 그것의 이전 구입에 수행으로 300 mm bonder를 선정했습니다. 시스템은 300 mm SOI 웨이퍼 생산 공구의 중국에 있는 첫번째 임명을 표시하는 SST의 최신식 시설에 이미 발송했습니다.

"우리의 200 mm EVG850LT 시스템 저희를 돕기에서 쓸모 있습니다 성취합니다 계속 고성능 SOI 웨이퍼를 위한 고객 요구를,"는 진술된 교수. 그 ZhiQiang, SST의 CEO. "많은 양에 있는 300 mm SOI 웨이퍼를 생성하는 우리의 기능을 진행하는 위하여 우리가 보는 때, 우리는 우리가 우리의 이전 EVG bonder로 경험했다와 신뢰도, 처리량 및 질의 동일 정도를 제안하는 기술을 필요로 합니다, 그래서 우리의 선에 EVG850LT의 300 mm 버전을 추가하는 것은이었습니다 만들 것이다 쉬운 결정."

SOI 웨이퍼 제작 프로세스, 웨이퍼 접합을 위한 중요한 가능하게 하는 기술은 고품질을 의 격리 기질에 단 하나 결정 실리콘 필름 달성합니다. EVG850LT SOI 생산 접합 시스템으로, 낮 온도 SOI 접합을 위한 모든 필수적인 단계는, 청소 그리고 줄맞춤에서 전 접합과 IR 검사에, 무효 자유로운 300 mm 웨이퍼를 위한 높은 수확량 생산 과정을 확신하기 위하여 결합됩니다. 이것은 EVG850 가족의 설립을 SOI 웨이퍼 시장에 있는 업계 표준 가능하게 했습니다.

, Swen 주 주의되는 중국에 있는 EV 단을 위한 판매의 디렉터, "SOI 기지를 둔 장치를 위한 수요는 우리의 고객과 가진 우리 관계를 확장하는 EVG를 위한 추가 기회를 만드는 중국과 같은 부상하는 시장에서, 특히 빠른 속도로 증가하는 것을 계속해 SOI 웨이퍼를 생성하. SST에서 이 수행 명령은 우리의 연립을 강화하고 SOI 웨이퍼 발달을 향상된 가공 기술 제공에 있는 EVG의 입증된 지도력을 확장하는 것을 봉사합니다 둘 다."

근원: http://www.EVGroup.com

Last Update: 10. October 2012 06:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit