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Hohe Genauigkeits-Maß der Dicke, des Brechungskoeffizienten und des Reflexionsvermögens der Dünnfilme und der Mehrschichtigen Stapel Von Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon hat die Leistungsfähigkeit des modulierten ellipsometer UVISEL spektralanalytische Phase mit der Integration des Spektralanalytischen Reflectometers des PROMIS DUV ausgedehnt. Die Kombination des ellipsometer und des Reflectometers der hohen Präzision, die in der gleichen Beispielstellung misst, erlaubt Kennzeichnung von den Merkmalen, die so klein sind wie 10 Mikrons.

Spektralanalytische Phase UVISEL modulierte das ellipsometer, das mit dem Spektralanalytischen Reflectometer des PROMIS DUV integriert wurde

Anwendungen des UVISEL-PROMIS umfassen Maß der Dicke, des Brechungskoeffizienten und des Reflexionsvermögens der Dünnfilme und der mehrschichtigen Stapel mit sehr hoher Genauigkeit.

Durch die Einführung eines großen Gebiets, das Stufen von Abmessung 200mm abbildet, ist 300mm und oben und mit integrierter Mustererkennungssoftware der UVISEL-PROMI in der Lage, die kopierten Materialien zu kennzeichnen, die in den Halbleiterwafer, in den Ausstellungsmaterialien, IN OLED-Zellen und in den Biosensors mit den Stärken gefunden werden, die von einigen Ångström bis zu einigen zehn Mikrons reichen.

Das gut nachgewiesene DeltaPsi2 Anwendungspaket steuert das komplette Instrument und stellt eine einfache Schnittstelle für Produktion, Versuchsanlage und Forschungsanwendungen zur Verfügung.

Last Update: 17. January 2012 04:32

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