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Mesure haute précision de l'épaisseur du film, l'indice de réfraction et la réflectivité des couches minces et des empilements de Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon a étendu les capacités de performance de l'ellipsomètre spectroscopique phase de UVISEL modulé avec l'intégration d'un réflectomètre DUV VIP spectroscopiques. La combinaison de haute précision et ellipsomètre réflectomètre mesure à la position du même échantillon permet la caractérisation des caractéristiques aussi petites que 10 microns.

Ellipsomètre spectroscopique UVISEL phase de modulation intégré avec le réflectomètre DUV VIP spectroscopiques

Applications du VIP UVISEL comprennent la mesure de l'épaisseur du film, l'indice de réfraction et la réflectivité des couches minces et des empilements avec une précision très élevée.

Par l'ajout d'une cartographie des zones grandes étapes de dimension 200mm, 300mm et plus, et avec un logiciel de reconnaissance de formes intégrées au VIP UVISEL est capable de caractériser les matériaux à motifs trouvés dans des plaquettes de semi-conducteurs, les matériaux d'affichage, les structures OLED et des biocapteurs avec des épaisseurs allant de quelques angströms à quelques dizaines de microns.

Le bien prouvé DeltaPsi2 logiciel de contrôle de l'instrument complet, et fournit une interface simple pour l'usine pilote de production, et les applications de recherche.

Last Update: 3. October 2011 18:32

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