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Horiba Jobin Yvon에서 박막 그리고 다중층 더미의 필름 간격, R.i. 및 반사력의 고정확도 측정

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon는 VIP DUV 분광 반사율계의 통합을 가진 UVISEL 분광 단계에 의하여 조절된 ellipsometer의 성능을 확장했습니다. 동일 견본 위치에 측정하는 높은 정밀도 ellipsometer와 반사율계의 조합은 10 미크론 처럼 작은 특징의 특성을 허용합니다.

UVISEL 분광 단계는 VIP DUV 분광 반사율계와 통합된 ellipsometer를 조절했습니다

UVISEL VIP의 응용은 아주 고정확도를 가진 박막 그리고 다중층 더미의 필름 간격, R.i. 및 반사력의 측정을 포함합니다.

차원 200mm의, 300mm는 이상에, 그리고 통합 패턴 인식 소프트웨어를 가진 단계를 지도로 나타내는 큰 부위의 추가에 의하여 UVISEL VIP 반도체 웨이퍼에서, 약간 옹스트롬에서 미크론의 몇몇 10에 구역 수색하는 간격을 가진 전시 물자 찾아낸, 모방한 물자 OLED 구조물 및 바이오 센서를 성격을 나타낼 수 있습니다.

잘 입증된 DeltaPsi2 소프트웨어 꾸러미는 완전한 계기를 통제하고, 생산, 시험 공장 및 연구 응용을 간단한 공용영역을 제공합니다.

Last Update: 15. January 2012 06:41

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