Horiba Jobin Yvon har fördjupa kapacitetskapaciteten av den spectroscopic UVISELEN arrangerar gradvis modulerad ellipsometer med integrationen av den Spectroscopic reflectometeren för VIP DUV. Kombinationen av kickprecisionellipsometeren och reflectometeren som mäter på samma, tar prov placerar låter characterisation av särdrag som så är lilla som 10 mikroner.
Spectroscopic UVISEL arrangerar gradvis den modulerade ellipsometeren som integreras med den Spectroscopic reflectometeren för VIP DUV
Applikationer av UVISELEN VIP inkluderar mätning av filmar tjocklek, filmar R.I. och reflexionsförmåga av tunt och multilayer buntar med mycket kickexakthet.
Vid tillägget av stort område arrangerar att kartlägga av dimensionerar 200mm, 300mm och över och med inbyggt mönstrar erkännandeprogramvara som UVISELEN VIP är kompetent att karakterisera mönstrade material som finnas i halvledarerån, skärmmaterial, strukturerar OLED och biosensors med tjocklekar som spänner från några angstroms till flera tio av mikroner.
Den väl bevisade programvaran DeltaPsi2 paketerar kontrollerar det färdigt instrumenterar och ger ett enkelt har kontakt för produktion, pilot- växt och forskningapplikationer.