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Horiba Ellipsometers werden Sogar Vielseitig

Published on June 25, 2008 at 5:22 AM

Der UVISEL+-RM von Dünnfilmen Horiba Jobin Yvon dehnt die Fähigkeit des UVISEL mit einem neuen unabhängigen Reflectometry-Block aus, (RM) der am UVISEL-Goniometer montiert werden kann. Der niedrige Kosten RM-Block ist entweder als Option erhältlich, oder als Verbesserung für alle aktuellen Baumuster vom Sichtbaren und vom NIR UVISEL wird Spektralanalytisches Ellipsometers als der Block einfach an die Xenonlampe und den Monochromator des UVISEL über zwei Glasfasern angeschlossen.

Das UVISEL Spektralanalytisches Ellipsometers von der Dünnfilm-Abteilung Horiba Jobin Yvon.

Der RM erlaubt Reflexionsmaße an der Inzidenz über dem Wellenlängenbereich 210nm - 2100 nm mit einer 200 µm Maßstelle und durch die Integration von ellipsometry und von Reflectometry der UVISEL+-RM aktiviert die flexiblen und genauen Maße von:

  • Stärke der einzelnen und mehrfachen Schicht filmt das Reichen von 1Å zu µm 30,
  • Optische Eigenschaften (N, K, α) von Materialien,
  • Direktes spektralanalytisches Maß der Beispielreflexion
  • Genaue Beschreibung von Dünnfilmstapeln für Schnittstellen, Rauheit, Inhomogeneities…

Der UVISEL+-RM ist einfach, unter Verwendung der Anlage und des Nutzens der Datenerfassung DeltaPsi2 von der großen Materialdatenbank und starken von den Analysemerkmalen der Software zu benützen. Für schwierige Anwendungen ist es möglich, ellipsometry und Reflectometrymaß für die Analyse einer Probe zu binden.

Der UVISEL+-RM ist eine flexible spektralanalytische Metrologieplattform, die für photo-voltaisches ideal ist, Bildschirmanzeige, optische Beschichtungen und Oberflächenbehandlungsanwendungen.

Last Update: 17. January 2012 00:47

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