Sistema Reactivo Profundo Gravura Em Àgua Forte do Íon dos Navios de Tegal Depois da Aquisição de Linhas de Produtos de AMMS

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporaçõ (NASDAQ: TGAL), um desenhista principal e um fabricante gravura em àgua forte do plasma e de sistemas do depósito, anunciados hoje que a Empresa tinha enviado um sistema reactivo profundo gravura em àgua forte do íon de Tegal 200SE (DRIE) ICP a um fornecedor principal das carcaças e dos serviços nos mercados do circuito integrado e do sensor de MEMS. O sistema novo de Tegal DRIE está sendo instalado actualmente na fundição da produção do 150mm do cliente.

“Tegal é muito satisfeito ter enviado nosso primeiro Sistema Gravura Em Àgua Forte do Silicone de Tegal 200SE ICP que segue nossa aquisição linhas de produtos Fazendo À Máquina dos Sistemas de Alcatel (AMMS) das Micro em setembro,” disse Thomas Mika, Presidente e director geral de Tegal Corporaçõ. “Nós trabalhamos muito duramente para fazer as vendas e o processo da qualificação sem emenda para nosso cliente, que adicionou o sistema do DRIE de Tegal a seu conjunto de ferramentas existente. O facto de que este cliente fez a escolha para Tegal, após o trabalho na produção de MEMS por muitos anos, é um endosso forte da reputação de Tegal/AMMS 200SE para o desempenho produção-provado.”

O sistema de Tegal 200SE é uma ferramenta high-density gravura em àgua forte do plasma que caracteriza um reactor indutiva acoplado gravura em àgua forte do plasma e um confinamento magnético do plasma. A ferramenta pode executar o Processo Alto Super patenteado do Prolongamento Do &ndash AFIADO de Tegal, conseguindo prolongamentos gravados da característica de > 100:1 em ambientes de produção. Junto com sua confiança alta, indicador largo do processo, e gravura em àgua forte alta avalia, o sistema de Tegal 200SE é um enabler crítico para gravar o Silicone e as carcaças de SOI encontraram no MEMS/MOEMS, fotovoltaico, em Biotech e em olá!-tensão mercados.

Last Update: 14. January 2012 14:34

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