適用されるナノ構造シリコンのプローブは、力の校正のため、このようなタッピングと非接触モードのアプリケーションのためのロングとショートカンチレバーなどのさまざまな構成で利用可能なマルチカンチレバープローブ、フォースモジュレーション顕微鏡用プローブ、傾き補正の度合いをとの接触のアプリケーションとプローブ用のプローブ。
のアプリケーションの応用ナノ構造のシリコンプローブは次のとおりです。
- AFMチップの直接光学ビュー
- タッピング、接触と非接触モードのアプリケーション
- SPMプローブのバネ定数校正
- フォースモジュレーション顕微鏡
- イメージングやトレンチの深さ計測。