Microscopio del BRR del DME - SEM Híbrido/AFM para las Mediciones Superficiales Combinadas de la Exploración

El microscopio del BRR del DME es una unificación de un microscopio electrónico de exploración con un microscopio atómico de la fuerza. Une el mejor de ambos mundos sin la fabricación de los compromisos del funcionamiento para ambos componentes. Las propiedades siguientes hacen el microscopio del BRR un sistema único mundial:

  • Se basa en el DME UHV AFM y el Puesto De Trabajo de la Viga Transversal de Carl Zeiss Auriga®

  • La punta de la viga transversal de SEM y de la BOLA miente en la punta voladiza. El diseño como analizador de la muestra permite mediciones de la combinación de las tres técnicas en exactamente la misma punta en espacio y en la muestra

  • Única interfaz para los componentes de SEM y del AFM

  • Ángulo de visión de SEM de 0° de 85° mientras que guarda la distancia de funcionamiento mínima de SEM de 5 milímetros

  • La punta Voladiza y la muestra se pueden alcanzar por BOLA en 0° y 54° la posición, punta "in-situ" que afila por la BOLA utilizada

  • Almacenamiento de datos Común de las imágenes del AFM y de SEM

  • Cambio fácil de los Soportes entre el AFM y las funciones estándar de Auriga® por la puerta exchangable de SEM del utilizador

  • Funciones Ilimitadas usando todos los voladizos estándar del AFM, ningunas antenas del active requeridas

  • Utiliza todos los modos de operación comunes del AFM

  • Unidad de exploración Extremadamente estable diseñada para la única resolución atómica tridimensional

  • Alineación Automática del laser/del detector en cambio voladizo

  • Actualización de Auriga® existente SEMs a las funciones del BRR posibles por intercambio simple de la puerta

  • Pliego De Condiciones del Analizador: Rango de la Exploración (µm 10 x del µm x de X x de Y x Z) 10 1 µm, resolución real subatómica en las tres dimensiones

El componente del AFM del BRR se equipa de una detección clásica de la desviación del laser, que se ha adoptado para permitir una distancia de funcionamiento muy corta para la olumna de SEM de 5 milímetros. Mientras Que guarda esta distancia de funcionamiento, el AFM se puede inclinar de 0° alrededor a 85°, para hacer una visión superior y una vista lateral posibles. Un bucle mecánico extremadamente corto de la punta a la muestra garantiza la estabilidad más alta. El analizador proporciona a la única resolución atómica real en las tres dimensiones.

Por último las garantías frontales del software integrado un seguro y flujo de trabajo liso así como colección de los soportes y combinación fáciles de los diversos tipos de datos de la medición.

Last Update: 15. July 2013 04:49

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