Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Linde Installerar Europas första CE-märkta på plats fluor generator på STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Banbrytande den europeiska elektronikindustrin ansträngningar för en hållbar tillverkning av halvledare, Linde Gaser, en division inom The Linde Group , har installerat Europas första CE-märkta på plats elektronik grad fluor (F2) generator på STMicroelectronics Crolles 300mm wafer tillverkningsanläggning i Frankrike. Som en del av STMicroelectronics initiativ för att minska miljökonsekvenserna av att producera halvledare, har högt tryck cylinder F2 har ersatts av två nya Linde Generation-F på plats generatorer fluor - som ger ett lågt tryck, fullt redundant matning av hög renhet F2 och eliminera behovet av transporter till och hålla cylindrar på plats.

Linde fluor generatorer och tillhörande utrustning kombinera beprövad teknik med egensäkra design för att ge STMicroelectronics en on-demand, säker och mycket tillförlitlig källa för ren F2 för kemisk förångningsdeposition (CVD) kammare rengöring. En cylinder med vätefluorid (används som källmaterial för på plats generator) ger samma mängd F2 till fab som 100 högt tryck F2 cylindrar - en avsevärd minskning underhåll arbetsbörda, medan de mycket låga systemtryck ger mycket större säkerhet för alla STMicroelectronics ingenjörer.

"Som operatörer av termisk ångbeläggning ser att optimera kostnaderna och minimera riskerna genom strängare säkerhetskrav är Linde ser en snabbare takt antas för att på plats genererade fluor," säger Greg Shuttleworth, Semiconductor produktchef för Linde Gas Division. "Vi ser också ökar intresset för att använda F2 som ett alternativ till NF3 för rengöring av plasma-CVD kammare på grund av oro över den mycket höga globala uppvärmningspotential NF3 och överhängande lagstiftning som kan begränsa dess användning."

"Installationen av Europas första på plats fluor generatorer på vår Crolles wafer tillverkningsanläggning är ett bevis på STMicroelectronics engagemang för att öka säkerheten och förbättra våra Eco-footprint", säger David Ferrand, chef för Faciliteterna på Crolles 200 och Crolles 300 fabriker. "Vi har direkt minskat våra koldioxidutsläpp på Crolles 300mm genom att eliminera cylinder leveranser. Vi är entusiastiska över möjligheterna för ännu större miljöeffektivitet med hjälp av produktionskapacitet i andra rengöringsuppgifter."

Tidigare var varje cylinder förändringen en möjlighet för kontaminering av systemet, men nu STMicroelectronics Crolles 300mm anläggningen har mycket större tillförlitlighet av komponenter gas box genom att eliminera dessa täta förändringar. Det finns också mindre farligt avfall som det inte finns något behov av att rensa cylindrar för att säkerställa att de är helt tomma innan du byter, öka sparandet och minska belastningen på STMicroelectronics minskning system.

Linde Generation-F på plats fluor generator har genom omfattande tredje part riskvärderingar och kan nu lägga till CE-märkning till SEMI S2 certifikatet bland sin lista över nationella och industriella erkända säkerhet. Förutom de generatorer själva, har Lindes tillhörande buffert och system för utsläppsminskning, som säkert ger varierande mängder av fluor, har också CE-märkta och SEMI S2 certifierade. Även de på STMicroelectronics har Linde lämnat och driver nästan 30 Generation-F system över hela världen för att möta halvledar-, display och solceller industrier "kammare behöver rengöras.

STMicroelectronics program för att minska användningen av energi, vatten och kemikalier vid alla anläggningar är grunden för sitt långvariga ekoeffektivitet inställning till miljöhänsyn. STMicroelectronics anser att förvaltningen av de kemikalier de använder, tillsammans med klimatförändringar, som det viktigaste miljöfrågorna, och har varit att minska kemikalie förbrukningen med mer än fem procent per år i genomsnitt sedan 1998.

Last Update: 24. October 2011 07:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit