Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

Копин Использование LayTec EpiTT Система Температура и отражения Мониторинг HBT производства вафельных эпи

Published on July 15, 2009 at 4:03 AM

LayTec с гордостью сообщает, что его EpiTT система успешно применяется при Копин Corporation (Массачусетс, США) на Aixtron 2600/IC системы по температуре и отражения мониторинг Транзистор биполярный гетероперехода (HBT) эпи пластины производства.

(Вверху) Даже частичное отражение колебаний тонкого слоя HBT может быть установлена ​​точно. (Внизу) отражения в базовый слой HBT. Открытых точек данных определить работает с источником проблемы.

В CS Mantech в мае, Эрик Rehder от Копин представил результаты измерений и подчеркнул следующее:

"... В высшей степени желательно, чтобы непосредственно измерить ключевые параметры слоя эпи по каждому продукту пластины для продолжения нажимайте целей безупречное качество и урожайность. Таким образом, мы работаем с LayTec EpiTT на месте оптической системы мониторинга отражения . Эти данные позволяют для немедленного обнаружения изменений в слоях эпи. Таким образом, проблемы могут быть обнаружены и корректирующих действий, прежде чем удалось пластин выращивают ".

На рисунке (сверху) показывает, насколько точно колебания измеряются и обтянутых EpiTT. В нем содержится информация на бегу к работе или пластины к пластине изменения температуры в реальном времени, привлечения внимания к изменениям, которые не могут быть обнаружены с помощью традиционных метрологии. Период колебаний урожайности темпы роста, "изменение" амплитуда - изменение показателя преломления; демпфирования указывает поглощения пленки. Красная линия соответствует LayTec, что почти идеально накладывается на экспериментальных данных синей линии.

Например, в рисунке (внизу) показывает, как "изменение" амплитуды указывает источник допинг проблемой во время осаждения слоя основания. Амплитуды отражения изменений в процессе осаждения слоя база построена в течение нескольких трасс. Точки показывают глубину колебаний для каждого запуска. Глубина, как правило, около 0,016, что соответствует определенному уровню легирования базового слоя, но и для нескольких серий стало меньшую (0,013 - точек в красный круг). За это время было источником проблема, вызывающая допингом уменьшением, а после исправления проблемы отражения вернулся к нормальным значениям.

Таким образом, измерения времени отражения используются для монолитного допинг-контроля воспроизводимости уровне. Для получения дополнительной информации см. документ *.

* Е. М. Rehder и др.. др.. В Ситу Мониторинг HBT производства вафельных Epi: Продолжая толчок к безупречное качество и урожайность. Опубликовано в: www.gaasmantech.org/Digests/2009/2009% 20Papers/045.pdf

Last Update: 6. October 2011 11:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit