Entreprise reconnue pour sa contribution exceptionnelle à l'avancement de l'infrastructure lithographie EUV

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq Technology, Inc, un développeur et fabricant de produits spécialisés de lumière de courte longueur d'onde pour des applications technologiques de pointe, a été reçu le Prix pour contribution exceptionnelle à l'Atelier international de 2009 pour la lithographie EUV, pour d'excellentes performances de la source de lumière EUV Energetiq et la compagnie contribution au développement EUVL. Seulement deux prix ont été remis lors de l'atelier s'est tenu la semaine dernière à Honolulu, Hawaii - l'un à Energetiq et l'autre à un professeur renommé dans le développement EUV pour ses réalisations de carrière à vie.

Professeur Gregory Denbeaux de l'Université d'Albany a présenté le prix à Deborah Gustafson, vice-président du marketing et des ventes chez Energetiq. Prof Denbeaux a déclaré: «Energetiq a permis aux chercheurs d'avoir fiables de photons EUV lithographie EUV pour devenir une réalité. Une grande partie de la recherche d'aujourd'hui est effectué avec la source Energetiq lumière EUV."

Gustafson a ajouté, «Energetiq est heureux de recevoir ce prix et nous sommes heureux que nous puissions contribuer au développement des infrastructures se fait aujourd'hui. Par ailleurs, nous tenons à remercier tous nos clients pour leur travail couronné de succès dans ce domaine. Energetiq prévoit de continuer sa contribution à la mise en œuvre réussie de la lithographie EUV en travaillant avec les fournisseurs de métrologie masque pour s'assurer qu'il ya une source fiable EUV pour les outils de métrologie. "

Energetiq EQ-10 Source Série lumière EUV fonctionnalités propriétaires électrode de l'entreprise Z-Pinch (TM) et produit stable lumière EUV, avec un faible coût de propriété. La conception de source électrode est prouvé pour fonctionner en continu et ont des performances hautement reproductibles. La série EQ-10 est installée dans les grands centres de technologie EUV aux Etats-Unis, en Europe et en Asie, et est utilisé dans les tests et la qualification photorésine avancés, EUV optique des tests, la microscopie EUV, et plus récemment avec l'introduction d'un taux élevé de redoublement (10 kHz) version, dans les applications de la métrologie et de la recherche où la simulation d'HVM (fabrication à grand volume) est requis.

Energetiq Technology, Inc est un développeur et fabricant de pointe de courte longueur d'onde de lumière produits qui permettent à l'échelle nanométrique de structures et de produits. L'équipe Energetiq combine sa compréhension profonde de la physique de plasma à haute puissance nécessaire pour la génération de courte longueur d'onde lumineuse avec sa longue expérience dans la construction robuste, les produits industriels et scientifiques. Le résultat est que les utilisateurs peuvent s'attendre à des hauts niveaux de performance combinée avec la plus grande fiabilité.

Last Update: 6. October 2011 05:58

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