Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Начинающий Клиент Tegal Приказывает Третье поколение Источник ICP для Применений 200mm DRIE

Published on July 29, 2009 at 5:44 AM

Tegal Корпорация, (NASDAQ: TGAL) рационализатор специализированных разрешений продукции для изготовления предварительного MEMS, силы ICs и электронно-оптический приборов, сегодня объявило что оно получило заказ для системы Tegal DRIE 200 оборудованной с реактором Плазмы высокой плотности ProNova третье поколение Индуктивно (ICP) Соединенным. Этот коммерчески заказ для реактора Tegal ProNova от начинающего клиента Tegal в EU, который будет использовать Глубокий Реактивный инструмент Вытравливания (DRIE) Иона для того чтобы выполнить новаторское исследование для высокопроизводительной микроэлектроники на вафлях 200mm.

В конкурсной оценке, новый источник ProNova ICP продемонстрировал более высокие тарифы etch, улучшенное единообразие глубины etch, улучшает единообразие угла наклона etch, и более высокие выходы чем сделали стандартные источники ICP для применений DRIE. Эти значительно преимущества над стандартными источниками ICP были в частности очевидны на вафлях более большого диаметра, в вафли этого случая 200mm, при конечные результаты более широкими отростчатыми окнами и более лучшей урожайностью инструмента, оба деталя критические к создавать быстрые циклы учить и выполнять эффективные развитие и исследование.

«Когда мы начали наше дело DRIE в сентябре 2008 мы сказали что мы работало для того чтобы продемонстрировать и продать продукци-достойные инструменты кремния DRIE для применений MEMS к новым клиентам и к существуя клиентам Tegal, и мы сказали мы работало вместе с нашими клиентами для того чтобы начать предварительные процессы DRIE нужные для новых применений MEMS и 3D IC,» сказал Томасу Mika, Президенту и генеральному директору Tegal. «Коммерчески старт источника ProNova ICP сегодня, вместе с этим заказом для системы Tegal DRIE 200 оборудованной с реактором ProNova, подтверждает что Tegal предлагает клиентам самую лучшую технологию ведущей кромки сочетание из, работу с клиентом, и продукци-доказанные системы для 200mm MEMS и применений 3D IC.»

Источник ProNova ICP доступен на Системах Обработки Вафли DRIE Tegal 110, 200, 3200, и 4200. ProNova также совместимо как retrofit с системами Tegal и AMMS DRIE уже в поле, и ProNova поддерживает Процесс Коэффициента Сжатия ОСТРОГО Tegal &ndash Супер Высокий, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики > 100:1 в промышленных средах.

В поддержку старта ProNova, Tegal показывает на Micromachine/MEMS 2009, Визирование Токио Большое, Токио, Япония с четверг 29-ого июль 2009 до суббота 31-ого июль 2009. Пожалуйста ищите Tegal и ProNova на Каноне Выходя Будочку вышед на рынок на рынок Японии, Восточный Hall, Будочку H-05.

Last Update: 13. January 2012 23:17

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit