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उद्योग की पहली और सेमीकंडक्टर फैब में नियंत्रण उत्सर्जन के लिए वैक्यूम पंप समाधान कमी

Published on November 30, 2009 at 6:13 PM

एप्लाइड मैटेरियल्स, Inc , Nanomanufacturing प्रौद्योगिकी में विश्व नेता अर्धचालक चिप्स, फ्लैट पैनल प्रदर्शित करता है, सौर फोटोवोल्टिक कोशिकाओं, लचीला इलेक्ट्रॉनिक्स और ऊर्जा कुशल गिलास के निर्माण के लिए अभिनव उपकरण, सेवा, और सॉफ्टवेयर उत्पादों की एक व्यापक पोर्टफोलियो के साथ ™ समाधान, आज का अनावरण इसके एप्लाइड ™ मंच, इस उद्योग के पहले पूरी तरह से एकीकृत और सेमीकंडक्टर फैब में नियंत्रित उत्सर्जन के लिए वैक्यूम पंप समाधान कमी ISYS. ISYS प्रणाली एक एप्लाइड प्रक्रिया उपकरण के साथ नेटवर्क, बिजली, पानी और गैस के ऊर्जा या CO2 उत्सर्जन की 220.000 पाउंड के 200MWh बराबर खपत में ठेठ वार्षिक बचत वर्तमान में उपलब्ध विन्यास की तुलना में वितरित कर सकते हैं. पर्यावरणीय लाभ होने के अलावा, ISYS प्रणाली कमी और अधिक से अधिक 20% द्वारा एक प्रक्रिया उपकरण पर वैक्यूम पंप के लिए उपयोगिता लागत को कम करती है.

एप्लाइड ISYS मंच उद्योग के पहले पूरी तरह से एकीकृत और सेमीकंडक्टर फैब में नियंत्रित उत्सर्जन के लिए वैक्यूम पंप समाधान कमी है. (फोटो: व्यापार वायर)

ISYS मंच की क्षमता के लिए संसाधनों के संरक्षण के लिए कुंजी अपनी अद्वितीय नियंत्रण प्रणाली है कि वफ़र प्रसंस्करण के उपकरण के साथ सिंक्रनाइज़ है, प्रत्येक प्रक्रिया के चैम्बर में वास्तविक समय परिवर्तन संवेदन और पूर्व निर्धारित स्टैंडबाय राज्यों में उप निर्देशन है. उपयोगिता पैमाइश सेंसर और सॉफ्टवेयर हर ISYS मंच संचयी ऊर्जा की बचत के दूरस्थ निगरानी को सक्षम करने के लिए और ऊर्जा स्थिरता लक्ष्य तक पहुँचने में प्रगति को ट्रैक में निर्मित कर रहे हैं.

"के साथ ISYS मंच एप्लाइड अपनी बेजोड़ उपकरण स्वचालन और प्रक्रिया उपकरण के लिए अर्धचालक विनिर्माण में बर्बादी कम करने के लिए एक स्मार्ट समाधान बनाने के लिए प्रौद्योगिकी पर capitalizing है" चार्ली Pappis, उपाध्यक्ष और एप्लाइड ग्लोबल सर्विसेज के जनरल मैनेजर ने कहा. "बदलते उपकरण शर्तों के जवाब में modulating के संसाधनों की खपत, ISYS मंच हमारे ग्राहकों को अपने परिचालन लागत को कम करने और टिकाऊ निर्माण प्रथाओं का समर्थन करने में मदद कर सकते हैं."

कम से कम एक दिन में अत्यधिक कॉम्पैक्ट एप्लाइड ISYS इकाई स्थापित किया जा सकता है और गैर एकीकृत प्रणालियों की तुलना में 40% कम फर्श अंतरिक्ष खपत है. सर्विसिंग की अधिकतम आराम के लिए शुरू से बनाया गया है, ISYS डिजाइन प्रमुख घटक समेकित करता है और अतिरेक को समाप्त करने के लिए बहुत बाहरी कनेक्शन की संख्या को कम करते हुए रखरखाव ergonomics अनुकूलन. भारी वालों के ऊपर हल्का घटकों stacking और डक्ट अनुमार्गण अनुकूलन, तकनीशियन जल्दी से सभी सेवा कार्यों को पूरा कर सकते हैं पंप प्रतिस्थापन सहित विशेष उपकरणों के बिना,.

पर्याप्त ऊर्जा बचत ISYS मंच के द्वारा प्राप्त एप्लाइड उन्नत Maydan प्रौद्योगिकी केंद्र में एक एप्लाइड निर्माता पर मापा गया था ® जी.टी. ™ PECVD * अर्ध S23 पद्धति का उपयोग कर प्रणाली. शुरू शुरू एप्लाइड मैटेरियल्स 'सीवीडी प्रणालियों के लिए, लचीला ISYS वास्तुकला भी खोदना अनुप्रयोगों का समर्थन कर सकते हैं. अधिक जानकारी के लिए, यहाँ जाएँ: http://www.appliedmaterials.com/products/isys_2.html .

* PECVD = प्लाज्मा बढ़ाया सीवीडी

Last Update: 26. October 2011 02:23

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