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STMicroelectronics Junta-se a CEA-Leti IMAGINA o Programa Para Desenvolver a Litografia Múltipla do E-Feixe

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics e CEA-Leti, instituto de investigação Francês principal do semicondutor, assinaram um acordo para que STMicroelectronics junte-se à indústria/pesquisa que novas o programa com vários sócios IMAGINA, conduzido por CEA-Leti, que inclui o TSMC, para a litografia da máscara-menos para a fabricação do IC.

Este programa de três anos é significado permitir que as empresas avaliem uma infra-estrutura maskless da litografia para a fabricação do IC e o uso da Tecnologia de MAPPER* para a alto-produção. O programa múltiplo da litografia do e-feixe cobre uma aproximação global à tecnologia, incluindo a avaliação da ferramenta, a modelação e da integração, a de manipulação de dados, da prototipificação e de custo do processo análise.

“STMicroelectronics tem trabalhado para mais do que uma década com o CEA-Leti na litografia maskless. Junto, o ST e CEA-Leti estabeleceram uma capacidade completa do dar forma-feixe na linha piloto do Crolles do ST e demonstrado a inserção da tecnologia do e-feixe em um fluxo de processo padrão do CMOS,” disse o Director da Revelação da Silicone-Tecnologia de Joël Hartmann para STMicroelectronics, em Crolles, França. “Juntar-se ao programa da IMAGINAÇÃO é uma etapa lógica para que o ST obtenha o acesso a uma solução possível da litografia da máscara-menos para os nós futuros da tecnologia.”

“O programa da IMAGINAÇÃO tirará proveito do conhecimento forte e apoio de STMicroelectronics na tecnologia maskless,” disse o CEO de Leti, Laurent Malier. “A experiência de CEA-Leti na tecnologia do e-feixe foi reforçada ao longo dos anos por esta parceria com o ST para usar o e-feixe para demonstradores da tecnologia avançada. Com STMicroelectronics que apoia o programa da IMAGINAÇÃO, nós somos convencidos que nós sucederemos para fazer a litografia maskless uma solução viável.”

* Os escritórios do CARTÓGRAFO são situados na Louça de Delft, O Holandês, perto da Universidade da Louça de Delft de

Tecnologia; O CARTÓGRAFO está entregando maciça plataformas paralelas do feixe de elétron e esta entrega do equipamento é parte do programa da colaboração.

Last Update: 13. January 2012 05:54

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