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諾船舶第一千向量PECVD系統,以GLOBALFOUNDRIES公司

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus系統公司(納斯達克股票代碼:NVLS )今天宣布,它已在新加坡運公司的第1000個載體等離子增強化學氣相沉積(PECVD)系統,GLOBALFOUNDRIES的7廠。

一個先進的半導體製造技術的領先供應商,GLOBALFOUNDRIES最近整合特許半導體製造公司的運作,將使用65nm技術節點,並在7廠超越里程碑300毫米矢量快™為大批量製造。

在2000年7月推出,載體系統是一個製造業的主力,用於存放的介質應用範圍廣泛。在前端線(FEOL),向量用於存款使勁矽,無定形碳和防反射層,硬掩膜薄膜和蝕刻停止層門隔板和襯墊,高應力薄膜。後端線(BEOL)應用包括金屬間和層間的電介質,銅擴散阻擋層薄膜,低介電常數的覆蓋層,以及最終的鈍化層。近日,向量受聘為新興介質的應用,如超低介電常數(ULK)薄膜和穿透矽通孔(TSV)封裝技術中使用的介電層,。

向量的的半導體製造市場的強勁接受了產品的高資本生產率,低安裝和運營成本,小系統的足跡,高晶圓 -到-晶圓重複性和,單一的低於 100納米粒子尺寸兩位數的缺陷表現。

GLOBALFOUNDRIES公司的負責人,7廠操作“諾發 VECTOR平台是在大批量生產中使用,在65納米及先進的Fab 7 FEOL和BEOL的介質應用 45/40nm技術節點,”彼得說 Benyon。 “我們期待著繼續與我們的合作夥伴關係,在發展成本效益,先進的技術解決方案,以幫助我們的客戶迅速把他們的創新設計推向市場的諾。”

“紀念這一具有里程碑意義的貨物,接受我們的第一千工具與該公司的特許成為新GLOBALFOUNDRIES公司的一部分,我們感到非常高興,說:”凱文詹寧斯,諾發 PECVD業務部門的高級副總裁。 “渣打在2004年購買了它的第一載體系統,並已久的一個重要的諾客戶,我們希望建立一個與 GLOBALFOUNDRIES同樣密切的關係。”

Novellus Systems公司(納斯達克股票代碼:NVLS)是一種先進的工藝設備,為全球半導體行業的領先供應商。該公司的產品提供價值給客戶提供值得信賴的生產力的創新技術支持。標準普爾 500強公司,諾發公司是總部設在加利福尼亞州聖何塞市與世界各地的附屬公司辦事處。

Last Update: 7. October 2011 05:13

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